Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 84 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

86
Рис.43. Датчик СО: 1 — Si жёсткая опора; 2 — пиролитический SiO
2
;
3— пленки Au/Mo; 4 — изолирующий слой; 5 — плёнка SnO
2
Рис.44. Структура резистивного каталитического датчика водорода: 1
— мезаструктура (биполярный транзистор); 2 — пиролитический SiO
2
; 3 —
алюминиевые контакты; 4 — металлическая маска (Au/Cr); 5 — Al
2
O
3
; 6 —
катализатор
Рис.45. Структура каталитического датчика окиси углерода: 1 — слой
SiO
2
; 2 — поликремний; 3 — пиролитический SiO
2
; 4 — слой ZnO; 5 — ката-
лизатор; 6-алюминиевые контакты

Страницы