Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 87 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.46. Датчик на твердом электролите: 1- сапфировая подложка; 2-

твердый электролит; 3- электрод сравнения; 4 и 5- рабочие электроды; 6- за-

щитное покрытие; 7- отверстие для подвода исследуемого газа; 8- нагрева-

тель; 9- выводы нагревателя

Рис.47. Дифференциальный датчик водорода на МДП-транзисторе: 1 —

Si подложка; 2 — слой SiO2; 3 — слой Si

; 4 — платина; 5 — палладий; 6

— медь; 7 — серебро; 8 — общий исток; 9 — сток первого МДП- транзисто-

ра; 10 — сток второго МДП-транзистора; 11 — охранные кольца; 12 — на-

греватель

Рис.48. Датчик СО на основе МДП-транзистора с сеточным затвором: 1

— слой SiO

; 2 — слой палладия; 3 — слой PdO