Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 48 стр.

UptoLike

48
íà åå ïîâåðõíîñòè. Ïðåäëîæåííûé ñïîñîá èçìåðåíèÿ ïîçâîëÿåò ïðè èç-
âåñòíîé òîëùèíå ñëîÿ ðàñïëàâà îïðåäåëÿòü óäåëüíóþ ýëåêòðîïðîâîä-
íîñòü ðàñïëàâà ÒÇÏ. Äëÿ äâóõ ÇÄÐ ñ ðàçëè÷íûìè ìåæöåíòðîâûìè ðàñ-
ñòîÿíèÿìè (D
1
D
2
) ïî èçìåðåííûì ñîïðîòèâëåíèÿì ýëåêòðîïðîâîä-
íîñòü ñëîÿ ðàñïëàâà çàïèøåòñÿ â âèäå
12
11
ýô
p
ÇÄÐ1 ÇÄÐ2
p
ln ln
,
()
DD
dd
RRl

′′
−ν


σ=
π−
(1.92)
ãäå
11
,
KK
′′
êîýôôèöèåíòû äëÿ ìåæöåíòðîâîãî ðàññòîÿíèÿ D
1
, D
2
ñîîò-
âåòñòâåííî, ó÷èòûâàþùèå êîíå÷íîñòü äëèíû ýëåêòðîäîâ; R
ÇÄÐ1
, R
ÇÄÐ2
ñî-
ïðîòèâëåíèÿ, èçìåðåííûå ÇÄÐ ñ ìåæöåíòðîâûì ðàññòîÿíèåì D
1
. Ïðè ïðå-
íåáðåæåíèè ÝÄÑ ïîëÿðèçàöèè ðàñ÷åòû ìîãóò ïðîâîäèòüñÿ ïî ôîðìóëå
p1p
ÇÄÐ p
ln
,
D
d
K
Rl
σ=
π
(1.93)
ãäå K
êîýôôèöèåíò, ó÷èòûâàþùèé êîíå÷íîñòü òîëùèíû ñëîÿ ðàñ-
ïëàâà.
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî íà ïðàêòèêå âåëè÷èíû D
1
è D
2
áëèçêè ïî çíà÷åíèþ,
îêîí÷àòåëüíàÿ ôîðìóëà äëÿ îïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ â
ïëàçìå ïðè îòñóòñòâèè èíòåíñèâíîãî íàãðåâà (îòñóòñòâóåò ñëîé ðàñïëà-
âà) ñ ó÷åòîì îáúåìíîãî çàðÿäà áóäåò èìåòü âèä
1
ô
2
1
8
ÇÄÏ1 ÇÄÏ2 ÇÄÏ
ln
.
2,82 10 ( )
ý
e
D
D
NK
RRl
ν
=
⋅π
(1.94)
Áåç ó÷åòà îáúåìíîãî çàðÿäà ýòî âûðàæåíèå ñâîäèòñÿ ê (1.35).
Ïðè èíòåíñèâíîì òåïëîâîì âîçäåéñòâèè (îáðàçóåòñÿ ñëîé ðàñïëàâà
íà ïîâåðõíîñòè èçîëÿòîðà) ñ ó÷åòîì îáúåìíîãî çàðÿäà ïîëó÷àåì
1
ô12
2
ÇÄÏ1 ÇÄÐ1 ÇÄÏ2 ÇÄÐ2
8
ÇÄÏ
ÇÄÐ1 ÇÄÏ1 ÇÄÐ2 ÇÄÏ2
ln
,
2,82 10
ý
e
D
KK
D
N
RR R R
l
RR RR
ν
=

⋅π

−−


(1.95)