Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 46 стр.

UptoLike

46
Âåëè÷èíà ýëåêòðîïðîâîäíîñòè ñëîÿ ðàñïëàâà è åãî òîëùèíà îïðåäå-
ëÿþò ñîïðîòèâëåíèå, âîçíèêàþùåå ìåæäó ýëåêòðîäàìè, êîòîðîå â ñî-
îòâåòñòâèè ñ (1.11) çàïèøåòñÿ â âèäå
pp
pp
ln
.
D
d
RK
l
=
πσ
Òîãäà, îáîçíà÷èâ ÷åðåç R
ÇÄÏ
è R
ÇÄÐ
ñîïðîòèâëåíèÿ, èçìåðåííûå, ñî-
îòâåòñòâåííî, ÇÄÏ è ÇÄÐ, çàïèøåì âûðàæåíèÿ äëÿ èñêîìûõ ñîïðîòèâ-
ëåíèé ðàñïëàâà è ïëàçìû
ï
ðÇÄÐ
ï
,
E
RR
I
=−
ÇÄÏ ÇÄÐ
ïë îá
ÇÄÐ ÇÄÏ
2.
RR
RR
+=
Èñïîëüçóÿ äâå ïàðû äàò÷èêîâ ÄÏ è ÇÄÐ) ñ ðàçëè÷íûìè ìåæöåíò-
ðîâûìè ðàññòîÿíèÿìè, ïî àíàëîãèè ñ (1.35) ïîëó÷èì âûðàæåíèå äëÿ îï-
ðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ ïðè âîçäåéñòâèè íà çîíäû èíòåí-
ñèâíûõ òåïëîâûõ ïîòîêîâ (ðèñ. 1.12, à):
12
11
ô2
ÇÄÏ1 ÇÄÐ1 ÇÄÏ2 ÇÄÐ2
8
çä
ÇÄÐ1 ÇÄÏ1 ÇÄÐ2 ÇÄÏ2
ln ln
,
2,82 10
ý
e
DD
KKK
dd
N
RR R R
l
RR RR

′′
−ν


=

⋅π

−−


(1.90)
ãäå R
ÇÄÏ1
, R
ÇÄÐ1
 ñîïðîòèâëåíèå çîíäîâûõ äàò÷èêîâ ïëàçìû è ðàñïëàâà
ñ ìåæöåíòðîâûì ðàññòîÿíèåì D
1
; R
ÇÄÏ2
, R
ÇÄÐ2
òî æå ñàìîå äëÿ çîí-
äîâûõ äàò÷èêîâ ïëàçìû è ðàñïëàâà ñ ìåæöåíòðîâûì ðàññòîÿíèåì D
2
;
K
2
 êîýôôèöèåíò, ó÷èòûâàþùèé èçìåíåíèå ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ ïîä
âîçäåéñòâèåì èíòåíñèâíûõ òåïëîâûõ ïîòîêîâ.
Åñëè ïðåíåáðå÷ü âåëè÷èíîé îáúåìíîãî çàðÿäà (ñì. (1.31) è
ðèñ. 1.12, á)), òî âûðàæåíèå äëÿ îïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ áó-
äåò èìåòü âèä