ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
100
2.3.11. Включить электромагнит заслонки и произвести процесс на-
пыления в течение заданного преподавателем времени.
2.3.12. Закрыть заслонку и отключить переключателем К2 испари-
тель. Рукоятку автотрансформатора установить в положение «0».
2.3.13. Рукоятки вакуумного затвора перевести в положение «З» – за-
крыто. С помощью натекателей 8 впустить воздух в вакуум-камеры.
2.3.14. Поднять колпак вакуум-камеры
и заменить образец.
Перевести рукоятку вакуумного затвора в положение «Ф» – форва-
куум, а затем в положение «В» – вакуум и, тем самым, получить сначала
«первичный вакуум», а затем «высокий вакуум» порядка 10
-5
мм.рт.ст.
2.3.15. Произвести процесс напыления согласно пп.2.4.10 – 2.4.13.
2.3.16. По окончании процесса напыления произвести операции со-
гласно пп.2.4.12; 2.4.13.
2.3.17. Выключить нагреватели форвакуумных насосов нажатием
кнопки «Стоп» магнитного пускателя L2.
2.3.18. Выключить электромагнитный клапан нажатием кнопки
«Стоп» магнитного пускателя L3.
2.3.19. Выключить форвакуумный насос нажатием кнопки «Стоп»
магнитного пускателя L1. Отключить автомат «Авт» и вакууметр
ВИТ-2
тумблером «Сеть».
2.3.20. С помощью прибора Е7-8 произвести контрольные измерения
величины поверхностного сопротивления для исследуемых образцов в
различных направлениях. Данные измерений занести в таблицу 1.
2.3.21. Произвести обработку полученных результатов и дать их объ-
яснение.
Таблица 1
Зависимость поверхностного сопротивления пленки от режимов напыления
Сопротивление R, Ом Время
напыле-
ния
t, сек
Напряжение,
U, В
Масса
распы-
ляемого
мате-
риала
m, гр
R↑ R↓ R→ R←
R
ср
2.4. Контрольные вопросы:
1. Пояснить термин «Сублимация», что он означает и его физический
смысл.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 98
- 99
- 100
- 101
- 102
- …
- следующая ›
- последняя »
