Основы электротехнологий. Анненков Ю.М - 98 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
98
напыления. Контроль давления осуществляется вакуумметром ВИТ-2
при подключении ионизационной лампы Л2 - 9.
Распыление металла производится путем его нагрева испарителем,
напряжение на который подается с помощью автотрансформатора через
трансформатор. Контроль тока испарителя осуществляется микроам-
перметром мА2. В качестве испарителя (нагревателя) используется спе-
циальная лодочка или спираль из тугоплавкого металла. При работе
не-
обходимо не превышать установленного тока, чтобы не вызывать пере-
грева этой спирали и ее сгорания.
При нагреве испарителя пары испаряемого металла (алюминия и др.)
приобретают высокую скорость и стремятся занять весь представляе-
мый им объем и, тем самым, способны оседать на всех частях образца и
камеры. Первоначально этот поток испаряемого
металла перекрыт за-
слонкой, чтобы устранить возможность попадания загрязнений на обра-
зец, которые образуются в начале плавления металла.
Качество получаемой металлической пленки определяется прочно-
стью сцепления распыляемого металла с подложкой (образцом), т.е. си-
лами адгезии и ее сплошностью (толщиной). Силы адгезии зависят от
материала подложки, ее чистоты, скорости распыления,
т.е. температу-
ры паров металла. Сплошность металлической пленки (ее толщина)
также зависит от продолжительности процесса напыления.
Контроль толщины получаемой металлической пленки можно осу-
ществлять методами светорассеивания или светопропускания, а также
измерением поверхностного сопротивления или непосредственным из-
мерением толщины на оптиметре (толщиномере) типа ИЗВ-2, что ис-
пользуется в данной работе.
2.3. Порядок работы
2.3.1. Включить переключателем «Сеть» прибор контроля ВИТ-2 и
дать ему прогреться в течение 5 -10 минут.
2.3.2. В термопарной части вакуумметра установить переключатель
«Измерение- ток нагрева» в положение «Ток нагрева» и ручкой реостата
«Ток нагрева» установить по нижней шкале прибора рабочий ток ис-
пользуемого термопарного преобразователя (для ЛТ2 - 124 мА).
2.3.3. Установить образец в
вакуум-камеру и нанести на нагреватель
испарителя навеску испаряемого металла, закрыть колпак вакуум-
камеры.
2.3.4. Включить автомат «Авт» и нажатием кнопки «Пуск» магнитно-
го пускателя L1 подать напряжение на форвакуумный насос. С помо-
щью вакууметра ВИТ-2 произвести контроль остаточного давления в
вакуумной магистрали и форвакуумном баке.

Страницы