ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
96
как бы повторяет пространственную решетку подложки. Согласно Лен-
гмюру, толщина адсорбированной пленки почти никогда не превосхо-
дит размеров одной молекулы (мономолекулярный слой) и химические
реакции на поверхности поэтому ограничены. Это является следствием
ограниченности процесса диффузии газов сквозь адсорбированную
пленку и равновесием процесса конденсации и испарения газа.
2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
2.1. Цель и задачи работы
- Познакомиться с методом вакуумного распыления металла для на-
несения металлических пленок.
- Освоить технологии получения вакуума порядка 10
-5
-10
-7
мм рт.ст.
и вакуумного распыления металлов для получения металлических пле-
нок.
Ознакомиться с экспериментальной установкой, методами измерения
глубины вакуума и оценки качества получаемой металлической пленки.
2.2. Описание экспериментальной установки
В данной работе использована экспериментальная промышленная
установка «Альфа М1», монтажная схема которой приведена на рис.3.
Рис.3. Монтажная схема установки
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 94
- 95
- 96
- 97
- 98
- …
- следующая ›
- последняя »
