ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
103
СОДЕРЖАНИЕ
Изготовление отверстий в твёрдых материалах с помощью
излучения оптического квантового генератора ……………………....... 4
Светолучевые технологии нанесения изоляционных и защитных
покрытий………………………………………………………………....
2020
Плазменное травление тонких диэлектрических плёнок………… 26
Электронно-лучевые технологии получения новых
материалов и изделий…………………………………………….......... 34
Технологии высокочастотного нагрева диэлектриков ……………. 44
Ультразвуковая прошивка твёрдых материалов …………………. 52
Ультразвуковая микросварка элементов и интегральных схем….. 62
Электрохимическая обработка материалов ……………….………. 69
Анодное растворение ......................................................72
Катодное восстановление .............................................. 74
Электрическая контактная сварка металлов........................................82
Термовакумное напыление металлов ...................................................92
Приложение ………………………………………………………… 102
