Основы электротехнологий. Анненков Ю.М - 26 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
26
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ТОНКИХ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
1. ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
1.1. Плазма и ее свойства
Плазмой называется ионизованный газ, в котором атомы (все или
значительная их часть) потеряли по одному или по несколько электро-
нов и превратились в положительно заряженные ионы. Плазма характе-
ризуется степенью ионизации α – отношением числа ионизованных час-
тиц к полному их числу в единице объема вещества. В зависимости от
величины α говорят
о слабо (α составляет доли процента), умеренно (α-
несколько процентов) и полностью (α близко к 100%) ионизованной
плазме.
В общем случае можно считать, что плазма представляет собой
смесь трех компонент: свободные электроны, ионы и нейтральные ато-
мы (или молекулы).
Плазма - наиболее распространенное состояние вещества в природе.
Солнце и звезды представляют собой
гигантские сгустки горячей плаз-
мы. Внешняя поверхность земной атмосферы покрыта плазменной обо-
лочкой-ионосферой. За пределами ионосферы находятся радиационные
пояса, которые относятся к своеобразным плазменным образованиям. В
земных условиях в лаборатории и в технике с плазмой мы встречаемся
при различных газовых разрядах, так как любой газовый разряд (мол-
ния, искра,
дуга и др.) всегда связаны с возникновением плазмы.
Одной из важнейших характеристик плазмы является ее плотность
или число заряженных частиц в единице объема. Возможные значения
плотности плазмы изменяются в очень широком диапазоне: от 10
-6
см
-3
в
межгалактическом пространстве до 10
22
см
-3
в центральных областях
звезд. Наиболее характерная плотность технической плазмы соответст-
вует (10
8
-10
19
) см
-3
.
Другая характеристика плазмы – ее температура (Т
п
).
В зависимости от способа получения существует два типа плазмы:
1.
Высокотемпературная или равновесная плазма (Т
п
= 10
6
К - 10
8
К).
Ионизация газа в данном случае происходит под действием сверхвысо-
ких температур, при этом температуры электронов и ионов приблизи-
тельно равны. Именно такое состояние вещества характерно для Солнца
и звезд.
2.
Низкотемпературная или неравновесная плазма (Т
п
< 10
4
К).
Причиной ее возникновения является газовый разряд.

Страницы