Основы электротехнологий. Анненков Ю.М - 33 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ

2.4. Контрольные вопросы

1. Плазма и ее характеристики.

2. Технические источники плазмы.

3. Классификация плазменных технологий.

4. Получение и свойства высокочастотной плазмы.

5. Использование высокочастотной плазмы в материаловедении.

2.5. Литература

1. Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы.- М.:Атомиздат,

1969.- 191 с.

Технология СБИС./ Под ред. С.Зи.- М.: Мир, 1986.- 405 с.

Основы технологии кремниевых интегральных схем./ Под ред.

Р.Бургера и Р.Донована.- М.: Мир, 1969.- 451 с.

Панов Е.Н. Технология изготовления БИС.- М.: Высшая школа,

1989.- 78 с.

Коротеев А.С., Миронов В.М., Свирчук Ю.С. Плазмотроны: кон-

струкции, характеристики, расчёт.- М.: Машиностроение, 1993.- 296 с.