ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
32
Таблица 1
Интерференционные цвета пленок окиси кремния
Толщина пленки (микрон)
Цвет
Порядок
цвета 1
Порядок
цвета 2
Порядок
цвета 3
Порядок
цвета 4
Серый
Коричневый
Синий
Фиолетовый
Голубой
Зеленый
Желтый
Оранжевый
Красный
0,01
0,05
0,08
0,10
0,15
0,18
0,21
0,22
0,25
0,28
0,30
0,33
0,37
0,40
0,44
0,46
0,49
0,52
0,56
0,60
0,62
О,65
0,68
0,72
0,75
терференционной окраске необходимо иметь не только таблицу цветов,
но и калиброванные образцы, которые можно поместить рядом с изме-
ряемыми и рассматривать при различных углах падения света. Можно
обойтись и без калиброванных образцов, если толщина пленки известна
с точностью не хуже половины порядка цветности (750-1000)Å.
2.3. Порядок работы
1. Подготовить кремниевые пластины с нанесенной пленкой резиста.
Цветовым методом определить толщину пленки.
2. Провести технологический процесс травления резистивной
пленки в двух режимах, отличающихся мощностью ВЧ-генератора и
составом рабочего газа. В процессе травления определять толщину
пленки через каждые 10 минут
3. Результаты работы представить в таблице 2.
Таблица 2
Плазмо-химическое травление резистивной пленки
Давление
в камере
Мощность
В
Ч-
г
енератора
Экспозиция
травления
(мин)
Толщина
пленки (мкм)
Цвет
пленки
Первый режим
1.
2.
…
Второй режим
1.
2.
….
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »
