ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
30
- Освоить установку «Плазма-600», получить навыки травления в вы-
сокочастотной плазме диэлектрических пленок на кремниевых пласти-
нах.
- Освоить цветовой метод определения толщины пленки.
- Установить зависимость скорости травления диэлектрической
пленки от ее химического состава и технологических параметров уста-
новки.
2.2. Экспериментальное оборудование и методика определения
толщины плёнки
Установка «Плазма-600» (рис. 1) предназначена для получения и
травления диэлектрических пленок, а так же для обработки поверхности
материалов в плазме высокочастотного газового разряда.
Основные параметры установки:
- частота ВЧ-генератора – 13.56 Мгц
- рабочее давление в газоразрядной камере - (10
3
-10
5
) Па
- в качестве рабочего газа может использоваться воздух, кислород,
аргон, пары летучих жидкостей.
Рис. 1 Принципиальная схема установки: 1 - вакуумная камера для плазменной
обработки материало, 2 – образец, 3 - нижний электрод, 4 - верхний электрод, 5 -
генератор высокочастотного поля, 6 - форвакуумный насос.
Работа на установке «Плазма-600
»
1. Открыть дверцу камеры.
2. Открыть крышку камеры.
3.
Загрузить в камеру экспериментальные образцы.
4.
Закрыть крышку и дверцу камеры.
5.
Установить время процесса с помощью тумблера ГАЗ-А.
2
3
4
1
5
6
газ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 28
- 29
- 30
- 31
- 32
- …
- следующая ›
- последняя »
