Основы электротехнологий. Анненков Ю.М - 92 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ
92
ТЕРМОВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ МЕТАЛЛОВ
1. ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ
В настоящее время вакуумное распыление и осаждение металлов
широко используется в технике для нанесения обкладок различных ти-
пов конденсаторов, изготовления печатных плат, резистивных слоев и
соединений (выводов) в микросхемах, а также для изготовления элек-
тродов при проведении испытаний диэлектрических образцов. В каче-
стве металла для вакуумного напыления используют медь, алюминий,
серебро
, цинк, кадмий, олово и др. Пары металла в высоком вакууме
ведут себя подобно газам, поэтому к ним применимы основные законы,
описывающие состояние газа.
Взаимосвязь основных параметров газа, к которым относятся давле-
ние, объем и температура, описываются уравнениями:
P
1
V
1
= P
2
V
2
- закон Бойля-Мариотта; (1)
V
t
= V
0
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
+
t273
1
1 - закон Гей-Люссака; (2)
P
t
= P
0
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
+
t273
1
1 - закон Шарля; (3)
P
смеси
= P
1
+ P
2
+ ... + P
n
- закон Дальтона. (4)
В этих уравнениях:
V
1
,V
2
- объем газа соответственно при давлениях P
1
и P
2
;
V
t
- объем газа при нагревании на t
o
C;
P
t
- давление газа при нагревании на t
o
C;
V
0
,P
0
- соответственно первоначальный объем и давление;
P
смеси
- парциальное давление в смеси газа, имеющего парциаль-
ные давления отдельных газов P
1
, P
2
, ... , P
n
.
Согласно молекулярно-кинетической теории все вещества состоят из
молекул и атомов, находящихся в беспорядочном тепловом колебатель-
ном движении. В зависимости от соотношения температуры, давления и
объема вещество может находиться в одном из трех агрегатных состоя-
ний: газообразном, жидком или твердом. Газы и пары металла вследст-
вие теплового хаотического движения и
очень слабой связи между мо-
лекулами не способны самостоятельно сохранять ни форму, ни объем,
поэтому всегда занимают все предоставляемое пространство.
В жидкой фазе молекулы обладают ограниченной свободой переме-
щения, поэтому жидкости могут сохранять форму сосуда, но не могут
занимать все предоставляемое им пространство.
В твердых телах каждый атом занимает в пространстве
какое-то фик-
сированное равновесное положение, около которого он совершает теп-

Страницы