Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 111 стр.

материалов для датчиков и понижения рабочей температуры датчика до 70 –
100 К. Позднее были сообщены экспериментальные результаты для охла-
ждаемых датчиков Холла, применяемых для измерения постоянных магнит-
ных полей. Поскольку датчики Холла находят всё большее применение для
измерения мощности электромагнитного поля СВЧ диапазона, повышение
их чувствительности является важной задачей. Повышение чувствительно-
сти схемными методами не всегда возможно, поэтому охлаждение их с це-
лью повышения чувствительности представляет определённый интерес.

       Для этой цели использовались двухэлектродные датчики Холла из
InSb п – типа с концентрацией носителей заряда 1,4· 1020 м-3 и подвижно-
стью электронов , равной (5-6) м2/В·с при 78 К. Пластинки длиной 4 мм,
шириной 2мм и толщиной 0,3мм вырезались из монокристаллического
сурьмянистого индия, полученного методом Чохральского в физико-
техническом институте А.Н. СССР им. А.Ф. Иоффе. Шлифовкой с последу-
ющим травлением в СР – 4 толщина пластинки доводилась до 0,1 – 0,15 мм.
Холловские контакты припаивались индием миниатюрным паяльником. За-
тем датчики наклеивались на подложку из мелкопористого пенополистиро-
ла, как материала, не вносящего заметных искажений в распределение плот-
ности потока мощности электромагнитного поля СВЧ. Поверхность датчи-
ков покрывалась защитным лаком. Сопротивление датчиков между Холлов-
скими выводами составляло 3 -5 Ом. ЭДС Холла на частоте 10 ГГц на от-
крытом конце волновода стандартного сечения (23 × 10) мм2 измерялась
микровольтметром Ф-116/1 по блок – схеме представленной на рис.3.10. .




                                                                      111