Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 116 стр.

       Исследование ваттметра проводилось по блок – схеме, представлен-
ной рис. 3.12, на частоте 37750 МГц. Размещение двухэлектродного датчика
Холла в волноводе (волна Н 10 ) показано на рис. 3.13.

       Датчик Холла изготовлен из InAs с параметрами : n ~ 3,2· 1022 м-3, ρ
= 7· 10-5 Ом·м , R x = 165·10-6м3/Кл . Чувствительность датчика без усилителя
равна 3,3 ·10-5 Вт , чувствительность этого же датчика с усилителем 1,7 · 10-7
Вт .

     3.11 Миниатюрный измеритель плотности потока
мощности СВЧ диапазона на основе пленочных датчиков Хол-
ла.
     Измерители мощности электромагнитного излучения на основе дат-
чиков ЭДС Холла отличаются малыми размерами чувствительного элемента
(датчика Холла) и весьма малыми возмущениями, вносимыми в измеряемое
поле. Если размеры датчика меньше длины волны, ЭДС Холла пропорцио-
нальна плотности потока мощности СВЧ.

       В отличие от кристаллических, плёночные датчики Холла обладают
целым рядом преимуществ. Основными преимуществами являются умень-
шение возмущения электромагнитного поля датчиком Холла, улучшение
температурного режима датчиков при измерении больших уровней мощно-
сти СВЧ и более совершенная технология их изготовления.

       Уменьшение возмущения электромагнитного поля датчиком опреде-
ляется как общим уменьшением объёма, занимаемого плёночным датчиком,
по сравнению с кристаллическим, так и тем фактом, что плёночный датчик
становится радиопрозрачным при толщине плёнки меньшей, чем толщина
скин-слоя. Улучшение температурного режима датчиков Холла достигается
за счёт увеличения отношения площади поверхности датчика к занимаемому
им объёму и уменьшения поглощаемой датчиком энергии электромагнитно-
го поля.




                                                                         116