Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 117 стр.

       Плёночные датчики изготавливались из n – InSb с концентрацией но-
сителей заряда 1022 м-3 .Плёнки получены методом мгновенного распыления
в вакууме с последующей рекристаллизацией и напыляются на слюдяную
подложку. Толщина плёнок (1 – 2) мкм. Напыление производится в вакууме
не хуже 10-5 мм Hg. Максимальная подвижность носителей заряда –    2 ,4
м2/В·с. Датчик имеет размеры (4 × 1,5) мм2, выводы датчика выполнены из
серебра, напылённого на слюдяную подложку, (фото рис.3.14). Для сравне-
ния на фото показана спичка.




                                   Рис. 3.14

       Исследования миниатюрного измерителя проводились в сантиметро-
вом диапазоне длин волн в волноводе и в свободном пространстве. Чувстви-
тельность измерителя составляет(10 – 20) мкВ на 1 мВт мощности СВЧ из-
лучения, распространяющегося в стандартном волноводе сантиметрового
диапазона, что соответствует примерно 1 мВ/мВт мощности электромагнит-
ного излучения, проходящего через поперечное сечение датчика .

     3.12 Автоматический регистратор проходящей мощно-
сти СВЧ диапазона на эффекте Холла.
     Основным элементом измерителя является датчик Холла, который
обладает рядом свойств, позволяющих использовать его для создания авто-
матического регистратора проходящей мощности электромагнитного излу-
чения СВЧ диапазона.

       ЭДС Холла пропорциональна плотности потока мощности электро-
магнитного излучения в месте расположения датчика, поэтому в отличие от
                                                                    117