Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 59 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

59
Датчики Холла кристаллические и плёночные и датчики магнито-
сопротивлений использовались в различных устройствах, которые мы будем
рассматривать в следующих главах.
Одной из основных задач полупроводниковой микроэлектроники в
области приборостроения является изготовление надёжных приборов, спо-
собных работать в течение длительного времени при экстремальных клима-
тических условиях. Поэтому проблемным вопросом микроэлектроники яв-
ляется создание одновременной пассивации и защиты поверхности актив-
ных элементов полупроводниковых датчиков, что обеспечивало бы надёж-
ную работу этих датчиков.
В качестве объекта исследования использовались плёночные датчики
Холла из антимонида индия. Датчики Холла были получены методом дис-
кретного распыления антимонида индия в вакууме с последующей рекри-
сталлизацией. В качестве подложки датчика использовалась телевизионная
слюда. Общая толщина плёнки с подложкой не превышала 20 мкм.
Из существующих покрытий датчиков были выбраны органические,
преимуществами которых являются простота технологии нанесения защит-
ного слоя и относительно низкая температура последующей полимеризации.
Исследовались покрытия на основе ЭД – 3, МБК – 1, МБК – 2, КО – 97,
КЛТ – 30, цапонлака. Для измерения холловских параметров использовалась
установка, собранная по компенсационной схеме. По измеренным величи-
нам ЭДС Холла (U
H
) и электропроводности (σ) вычислялись следующие
параметры: постоянная Холла (R
x
) и подвижность носителей заряда (μ) до и
после нанесения покрытия. Последующие испытания проводились на термо-
стойкость, влагостойкость и старение. При этом датчики находились в парах
кипящей воды, затем каждый из них помещался в воду при комнатной тем-
пературе.
Все испытания и измерения параметров датчиков проводились еже-
годно в течение 10 лет. Данные представлены в таблицах 2.4а и 2.4б. На ос-
       Датчики Холла кристаллические и плёночные и датчики магнито-
сопротивлений использовались в различных устройствах, которые мы будем
рассматривать в следующих главах.

       Одной из основных задач полупроводниковой микроэлектроники в
области приборостроения является изготовление надёжных приборов, спо-
собных работать в течение длительного времени при экстремальных клима-
тических условиях. Поэтому проблемным вопросом микроэлектроники яв-
ляется создание одновременной пассивации и защиты поверхности актив-
ных элементов полупроводниковых датчиков, что обеспечивало бы надёж-
ную работу этих датчиков.

       В качестве объекта исследования использовались плёночные датчики
Холла из антимонида индия. Датчики Холла были получены методом дис-
кретного распыления антимонида индия в вакууме с последующей рекри-
сталлизацией. В качестве подложки датчика использовалась телевизионная
слюда. Общая толщина плёнки с подложкой не превышала 20 мкм.

       Из существующих покрытий датчиков были выбраны органические,
преимуществами которых являются простота технологии нанесения защит-
ного слоя и относительно низкая температура последующей полимеризации.
Исследовались покрытия на основе ЭД – 3, МБК – 1, МБК – 2, КО – 97,
КЛТ – 30, цапонлака. Для измерения холловских параметров использовалась
установка, собранная по компенсационной схеме. По измеренным величи-
нам ЭДС Холла (U H ) и электропроводности (σ) вычислялись следующие
параметры: постоянная Холла (R x ) и подвижность носителей заряда (μ) до и
после нанесения покрытия. Последующие испытания проводились на термо-
стойкость, влагостойкость и старение. При этом датчики находились в парах
кипящей воды, затем каждый из них помещался в воду при комнатной тем-
пературе.

       Все испытания и измерения параметров датчиков проводились еже-
годно в течение 10 лет. Данные представлены в таблицах 2.4а и 2.4б. На ос-

                                                                       59

Страницы