Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 57 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

57
В качестве материала для электродов чаще всего применяется сереб-
ро, которое в нашем случае даёт хороший омический контакт, т.к. работа
выхода из тонких слоёв InSb равна 4,42 эВ, а для Ag - 4,55 эВ. Серебряные
токовые и холловские электроды наносились на плёнку в другой вакуумной
установке распылением химически чистого серебра из вольфрамовой корзи-
ночки через маску, изготовленную фотолитографическим методом из бе-
риллиево-бронзовой фольги. Напыление производилось при давлении
5 ·10
-4
мм Hg и температуре испарителя ~ 1000
о
С, на холодную подложку.
Во время напыления плёнок контролировались их некоторые пара-
метры. Для этого, одновременно с основными плёнками, напылялись 3 кон-
трольных датчика с пятью электродами (рис. 2.9). Полученные плёнки пред-
ставлены на фотографиях (рис 2.9, рис. 2.10).
Рис. 2.9 
       В качестве материала для электродов чаще всего применяется сереб-
ро, которое в нашем случае даёт хороший омический контакт, т.к. работа
выхода из тонких слоёв InSb равна 4,42 эВ, а для Ag - 4,55 эВ. Серебряные
токовые и холловские электроды наносились на плёнку в другой вакуумной
установке распылением химически чистого серебра из вольфрамовой корзи-
ночки через маску, изготовленную фотолитографическим методом из бе-
риллиево-бронзовой фольги. Напыление производилось при давлении
5 ·10-4 мм Hg и температуре испарителя ~ 1000оС, на холодную подложку.

       Во время напыления плёнок контролировались их некоторые пара-
метры. Для этого, одновременно с основными плёнками, напылялись 3 кон-
трольных датчика с пятью электродами (рис. 2.9). Полученные плёнки пред-
ставлены на фотографиях (рис 2.9, рис. 2.10).




                                   Рис. 2.9




                                                                         57

Страницы