Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 55 стр.

       Очевидно, и при высокой температуре подложки на её поверхности
образуется множество мельчайших кристалликов, которые затем разраста-
ются в относительно крупные кристаллиты (1- 5) мм, т.е. действует обыч-
ный принцип геометрического отбора. Таким образом, необходимо тща-
тельно контролировать температуру подложки и следить, чтобы она равно-
мерно нагревалась по всей площади. С этой целью в качестве подогревателя
подложки нами использовалась следующая конструкция: на прямоугольный
кусок слюды равномерно наматывается молибденовая проволока диаметром
0,2·10-3 м и сопротивлением 5 Ом. Затем слюда с намотанной проволокой
помещается в корпус, изготовленный из пермаллоя. Сверху проволока тща-
тельно изолируется от корпуса слюдой. Размеры корпуса соответствуют
размерам держателя. В качестве подложки нами использовалась телевизи-
онная слюда типа мусковит, выбор которой обусловлен тем, что она может
быть сделана очень малой толщины до (5 – 10) мкм, выдерживает темпера-
туру, необходимую для термообработки тонких плёнок и на её поверхности
можно образовывать прочные и стабильные слои. Кроме того, слюде легко
можно придать нужную форму.

       Для получения тонких плёнок антимонида индия использовались
монокристаллические слитки n-InSb с концентрацией примесей (2-3) 1021м-3.
Перед тем, как приступить к приготовлению мелкодисперсного порошка из
слитка, его поверхность очищалась от загрязнений в травителе СР – 4. после
травления слиток промывался в дистиллированной воде и спирте и высуши-
вался в вакуумном сушильном шкафу. Обработанный таким образом слиток
размельчался в агатовой ступе агатовым пестиком, т.к. ввиду значительной
твёрдости материала ступки при дроблении в ней в получаемый порошок не
должно попадать загрязнений. Получаемый порошок просеивался через
набор сит с разными наборами ячеек.

       Экспериментально было найдено, что плёнки лучшего качества по-
лучаются из порошка размерами (200 – 160) мкм и (160 – 100) мкм. Для по-


                                                                        55