Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 54 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

54
рошка антимонида индия (InSb), едва долетев до испарителя, начинают ин-
тенсивно испаряться.
Однако, вследствие относительно низкой температуры плавления ан-
тимонида индия (525
0
С) на конце жёлоба происходит накопление порошка и
в конце концов подача порошка в тигель прекращается. Чтобы этого не про-
исходило, жёлоб нужно регулярно очищать спиртом. Для осуществления
непрерывной и регулярной подачи порошка в испаритель имеет большое
значение размер его зёрен. Порошок необходимо просеивать и отбрасывать
наиболее мелкую фракцию (пыль), которая под ударом струи пара легко
спрессовывается, накапливаясь на конце жёлоба, затем падает в испаритель
в виде большого комка, что ведёт к нарушению режима испарения.
Структура плёнки в значительной мере зависит от температуры под-
ложки.
Исследования структуры плёнок на электронографе и металлографи-
ческом микроскопе МИМ -8 показывают, что при напылении плёнки на
подложку при комнатной температуре, в большинстве случаев получается
мелкокристаллическая структура, а при напылении на подогретую до опре-
делённой температуры подложку образуются более крупные кристаллы.
Особенно сильно размеры кристаллитов увеличиваются в области темпера-
тур подложки от 440
0
до 450
0
С. Помимо температуры подложки размер кри-
сталлитов в плёнках InSb сильно зависит и от толщины плёнки: чем толще
плёнка, тем больше при прочих равных условиях размер кристаллитов в ней.
Эту зависимость можно заметить и без микроскопа, поскольку мелкокри-
сталлические плёнки имеют ровную зеркальную поверхность, а поверхность
крупнокристаллических плёнок матовая, шероховатая. Образование плёнок
с шероховатой поверхностью происходит при температуре подложки выше
400
0
С. Однако если посмотреть на такую плёнку со стороны подложки, то
она имеет такой же зеркальный вид, как и плёнки, полученные при комнат-
ной температуре подложки. 
рошка антимонида индия (InSb), едва долетев до испарителя, начинают ин-
тенсивно испаряться.

         Однако, вследствие относительно низкой температуры плавления ан-
тимонида индия (5250С) на конце жёлоба происходит накопление порошка и
в конце концов подача порошка в тигель прекращается. Чтобы этого не про-
исходило, жёлоб нужно регулярно очищать спиртом. Для осуществления
непрерывной и регулярной подачи порошка в испаритель имеет большое
значение размер его зёрен. Порошок необходимо просеивать и отбрасывать
наиболее мелкую фракцию (пыль), которая под ударом струи пара легко
спрессовывается, накапливаясь на конце жёлоба, затем падает в испаритель
в виде большого комка, что ведёт к нарушению режима испарения.

         Структура плёнки в значительной мере зависит от температуры под-
ложки.

         Исследования структуры плёнок на электронографе и металлографи-
ческом микроскопе МИМ -8 показывают, что при напылении плёнки на
подложку при комнатной температуре, в большинстве случаев получается
мелкокристаллическая структура, а при напылении на подогретую до опре-
делённой температуры подложку образуются более крупные кристаллы.
Особенно сильно размеры кристаллитов увеличиваются в области темпера-
тур подложки от 4400 до 4500С. Помимо температуры подложки размер кри-
сталлитов в плёнках InSb сильно зависит и от толщины плёнки: чем толще
плёнка, тем больше при прочих равных условиях размер кристаллитов в ней.
Эту зависимость можно заметить и без микроскопа, поскольку мелкокри-
сталлические плёнки имеют ровную зеркальную поверхность, а поверхность
крупнокристаллических плёнок матовая, шероховатая. Образование плёнок
с шероховатой поверхностью происходит при температуре подложки выше
4000С. Однако если посмотреть на такую плёнку со стороны подложки, то
она имеет такой же зеркальный вид, как и плёнки, полученные при комнат-
ной температуре подложки.

                                                                       54

Страницы