Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 53 стр.

теля фиксируется с помощью винта 12. Противодействующий момент по-
движной части вибратора осуществляется с помощью спиральной пружины
13, один конец которой закреплён на неподвижной консоли 14, а другой на
рычаге 15, передающем вибрацию от якоря 5, к воронке 1. Неподвижные
консоли 14, 16, 17 крепятся к опорному стержню 11,который ввинчен в пли-
ту 18. Воронки диаметром 20 мм и высотой 20 мм изготавливались из перм-
аллоя с диаметром нижнего отверстия (0,3; 0,4; 0,5;0,6) мм в зависимости от
размеров крупинок порошка InSb.

       В данной работе испарителем для антимонида индия служила мо-
либденовая лодочка площадью (16×24) мм2 и толщиной 0,2 мм.

       При выборе материала испарителя учитывалось, что:

       1. давление пара материала подогревателя должно быть пренебре-
жимо мало при рабочих температурах испарения;
       2. испаряемый материал в расплавленном состоянии должен хорошо
смачивать материал подогревателя, создавая хороший тепловой контакт;
       3. между материалом подогревателя и испаряемым материалом не
должно происходить никаких химических реакций, а также не должны обра-
зовываться сплавы этих веществ.
       При дискретном распылении одно из основных затруднений состоит
в выборе температуры испарителя: при слишком высокой температуре ча-
стицы сплава отражаются от испарителя, не успевая расплавиться, при
слишком же низкой температуре испарителя может происходить частичное
испарение одной из компонент, т.к. на лодочке остаётся часть порошка.

       Таким образом, температура испарителя должна быть достаточно
высокой для того, чтобы частицы сплава немедленно испарялись, как только
коснутся поверхности испарителя.

       Такой экспериментально подобранной температурой испарителя
оказалась температура 1000-1100 0 С. При этой температуре частицы по-


                                                                        53