Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 51 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

51
Рис.2.7
В качестве исходного материала использовался монокристалличе-
ский антимонид индия электронного типа с концентрацией носителей заряда
при температуре жидкого азота равной 10
22
м
-3
и подвижностью
секВм ⋅
2
5,5
.
Независимо от температуры подложки, плёнки, полученные из этого
материала, обладали электронной проводимостью, имели толщину порядка
(1,5- 1)10
-6
м и при измерении в магнитном поле напряжённостью 16·10
4
А/м
имели подвижность электронов (1,5 – 2) м
2
/В·сек.
В основу технологии изготовления датчиков Холла в настоящей ра-
боте был принят метод дискретного распыления.
Однако, конструкция, описанная в работе этих авторов, на наш
взгляд обладает определёнными недостатками, важнейшими из которых
следует считать наличие вильсоновского уплотнения, неизбежно ухудшаю-
щего вакуум.
Поэтому было предложено, сконструировано и изготовлено устрой-
ство для дискретного распыления с электромагнитным вибратором, функци-
ональная схема которого приведена на рис. 2.8. 
                                        Рис.2.7

       В качестве исходного материала использовался монокристалличе-
ский антимонид индия электронного типа с концентрацией носителей заряда
при температуре жидкого азота равной 1022м-3 и подвижностью 5,5 м 2 В ⋅ сек .

       Независимо от температуры подложки, плёнки, полученные из этого
материала, обладали электронной проводимостью, имели толщину порядка
(1,5- 1)10-6м и при измерении в магнитном поле напряжённостью 16·104А/м
имели подвижность электронов (1,5 – 2) м2/В·сек.

       В основу технологии изготовления датчиков Холла в настоящей ра-
боте был принят метод дискретного распыления.

       Однако, конструкция, описанная в работе этих авторов, на наш
взгляд обладает определёнными недостатками, важнейшими из которых
следует считать наличие вильсоновского уплотнения, неизбежно ухудшаю-
щего вакуум.

       Поэтому было предложено, сконструировано и изготовлено устрой-
ство для дискретного распыления с электромагнитным вибратором, функци-
ональная схема которого приведена на рис. 2.8.



                                                                         51

Страницы