Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 49 стр.

       2. Метод Векшинского разработан для получения бинарных соеди-
нений путём одновременного испарения составных частей сплава из не-
скольких источников на холодную подложку.

       Установлено, что при этом электрические свойства тонких плёнок
JnSb сильно отличаются от свойств массивных образцов этих соединений и
для этих слоёв получены малые значения подвижности носителей заряда.

       2.   Метод трёх температур (или метод Гюнтера) является усовер-
шенствованием метода Векшинского с целью применения его для получения
плёнок из соединений типа A 3 B 5 , но лучшего качества.
       В этом случае распыление производится на разогретую подложку.
Однако такое испарение практически затруднено из-за необходимости регу-
лирования и поддержания скоростей испарения отдельных компонентов для
получения заданного состава плёнки.

       Для того чтобы тонкие плёнки, полученные выше изложенными ме-
тодами имели свойства близкие к свойствам монокристаллов, в работе
J.F.Spivak и J.J.Carrol [16] предлагается отжиг тонких плёнок при темпера-
туре плавления JnSb в течение минимально возможного времени.

       Рекристаллизация тонкой плёнки JnSb приводит к уменьшению раз-
меров составляющих её кристаллитов, которые дают большие подвижности.

       Основным условием, необходимым для проведения рекристаллиза-
ции является вакуум не ниже 10-5÷10-6 мм Hg, и, кроме того, в качестве под-
ложки нужно использовать такой материал, коэффициент теплового расши-
рения которого соответствует коэффициенту теплового расширения JnSb,
чтобы в результате рекристаллизации плёнка не скатывалась в шарик. Таким
материалом является BeO, но для нас этот материал непригоден, поскольку
вследствие хрупкости BeO толщина такой подложки будет довольно боль-
шой.




                                                                        49