Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 50 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

50
4.Метод дискретного распыления заключается в том, чтобы непре-
рывно подавать мелкие частицы сплава нужного состава в раскалённый ти-
гель. Поскольку в испаритель непрерывно поступает большое количество
крупинок или частиц сплава, процесс испарения носит статистический ха-
рактер, и в среднем к подложке прилетает столько же атомов сурьмы и ин-
дия, сколько их содержится в исходном сплаве.
Однако получаемые таким методом плёнки по своему химическому
составу не будут отличаться от исходного материала лишь при выполнении
следующих условий:
а) температура испарителя должна быть такой, при которой проис-
ходит полное и достаточно быстрое испарение компонента с низкой упруго-
стью паров;
б) коэффициенты конденсации компонентов, входящих в соедине-
ние, должны быть одинаковы;
в) размер частичек и интенсивность испарения должны обеспечивать
полное испарение частиц. Частицы не должны выскакивать из тигля после
испарения одного из компонентов или скапливаться на более холодных де-
талях испарителя.
В работе С.А. Семилетова и П.С. Агларзаде [17] для подачи порошка
в испаритель использовалось устройство, состоящее из винта 1, вращающе-
гося в неподвижном полом цилиндре 2 (рис.2.7). Порошок засыпался в бун-
кер 3 и при вращении винта выталкивался в жёлоб 4, откуда падал в разо-
гретый тигель. Скорость подачи вещества регулировалась шагом винта и
количеством его оборотов в минуту. Вращение осуществлялось с помощью
электромоторчика и передавалось под колпак через вильсоновское уплотне-
ние с помощью системы стержней и конических шестерёнок. 
       4.Метод дискретного распыления заключается в том, чтобы непре-
рывно подавать мелкие частицы сплава нужного состава в раскалённый ти-
гель. Поскольку в испаритель непрерывно поступает большое количество
крупинок или частиц сплава, процесс испарения носит статистический ха-
рактер, и в среднем к подложке прилетает столько же атомов сурьмы и ин-
дия, сколько их содержится в исходном сплаве.

       Однако получаемые таким методом плёнки по своему химическому
составу не будут отличаться от исходного материала лишь при выполнении
следующих условий:

       а) температура испарителя должна быть такой, при которой проис-
ходит полное и достаточно быстрое испарение компонента с низкой упруго-
стью паров;

       б) коэффициенты конденсации компонентов, входящих в соедине-
ние, должны быть одинаковы;

       в) размер частичек и интенсивность испарения должны обеспечивать
полное испарение частиц. Частицы не должны выскакивать из тигля после
испарения одного из компонентов или скапливаться на более холодных де-
талях испарителя.

       В работе С.А. Семилетова и П.С. Агларзаде [17] для подачи порошка
в испаритель использовалось устройство, состоящее из винта 1, вращающе-
гося в неподвижном полом цилиндре 2 (рис.2.7). Порошок засыпался в бун-
кер 3 и при вращении винта выталкивался в жёлоб 4, откуда падал в разо-
гретый тигель. Скорость подачи вещества регулировалась шагом винта и
количеством его оборотов в минуту. Вращение осуществлялось с помощью
электромоторчика и передавалось под колпак через вильсоновское уплотне-
ние с помощью системы стержней и конических шестерёнок.




                                                                       50

Страницы