Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 97 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

97
метным нарушением баланса моста в течение времени измерения. Во всех
применениях датчиков Холла в диапазоне СВЧ нами использовались двух-
электродные датчики.
Двухэлектродный датчик Холла, как элемент цепи, представляет со-
бой полупроводниковый прибор, состоящий из прямоугольной пластинки
полупроводника с омическими контактами холловских выводов, которые
симметрично располагаются на боковых рёбрах пластины.
Двухэлектродные датчики Холла могут быть как кристаллическими с
подложкой и без неё, так и плёночными. В качестве подложки используется
электроизоляционный материал с диэлектрической проницаемостью близ-
кой к единице.
Размеры датчиков обычно выбираются так, чтобы его ширина была в
2 – 3 раза меньше длины, а толщина ~ (0,1 – 0,15)10
-3
м для кристаллическо-
го и (1 – 10)10
-6
м для плёночного.
Холловские электроды выполняются точечными; размеры контактов
должны обеспечить электрическую и механическую прочность, но быть по
возможности наименьшими, т.к. размеры контактной поверхности (ширина
и глубина электрода) влияют на чувствительность датчика.
Для использования датчиков Холла в различных диапазонах длин
волн его помещали в держатель соответствующего размера из мелкопори-
стого пенополистирола. Размеры держателя были рассчитаны на сечение 8
миллиметрового, а также 2, 3, и 4 сантиметрового волноводов (рис. 3.4) . 
метным нарушением баланса моста в течение времени измерения. Во всех
применениях датчиков Холла в диапазоне СВЧ нами использовались двух-
электродные датчики.

       Двухэлектродный датчик Холла, как элемент цепи, представляет со-
бой полупроводниковый прибор, состоящий из прямоугольной пластинки
полупроводника с омическими контактами холловских выводов, которые
симметрично располагаются на боковых рёбрах пластины.

       Двухэлектродные датчики Холла могут быть как кристаллическими с
подложкой и без неё, так и плёночными. В качестве подложки используется
электроизоляционный материал с диэлектрической проницаемостью близ-
кой к единице.

       Размеры датчиков обычно выбираются так, чтобы его ширина была в
2 – 3 раза меньше длины, а толщина ~ (0,1 – 0,15)10-3 м для кристаллическо-
го и (1 – 10)10-6м для плёночного.

       Холловские электроды выполняются точечными; размеры контактов
должны обеспечить электрическую и механическую прочность, но быть по
возможности наименьшими, т.к. размеры контактной поверхности (ширина
и глубина электрода) влияют на чувствительность датчика.

       Для использования датчиков Холла в различных диапазонах длин
волн его помещали в держатель соответствующего размера из мелкопори-
стого пенополистирола. Размеры держателя были рассчитаны на сечение 8
миллиметрового, а также 2, 3, и 4 сантиметрового волноводов (рис. 3.4) .




                                                                        97

Страницы