Составители:
Рубрика:
15
V » V
м
(1–C
1
h/l
0
), (2)
где l
0
– длина волны на свободной поверхности; h – толщина
пленки; C
1
– константа. Для алюминиевой пленки на подложке
из ST!кварца значение С
1
= 0,183, а на подложке из ниобата ли!
тия YZ!среза С
1
= 0,287.
Иногда важно не только номинальная величина скорости, но и
возможный разброс ее значений. Так, в некоторых случаях к точ!
ности возпроизведения заданных характеристик устройств предъяв!
ляются повышенные требования (например, дисперсионные ли!
нии задержки, генераторы), поэтому одним из определяющих
свойств подложки становится точность воспроизведения скорос!
ти ПАВ. Например, для кварца точность воспроизведения задан!
ного значения скорости составляет не менее 5 × 10
–5
, а для крис!
таллов ниобата лития относительный разброс значения скорости
примерно 10
–3
[4]. Одна из основных причин разброса скоростей –
это погрешности ориентации кристаллов. На рис. 6 показаны
углы разориентации кристалла относительно правильного поло!
жения. Погрешности угловой разориентации приводят к измене!
Рис. 6. Определение углов разориентации
(правильное положение показано пунктиром)
dq
dm
du
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 13
- 14
- 15
- 16
- 17
- …
- следующая ›
- последняя »
