Составители:
Рубрика:
16
нию скорости ПАВ в кристалле. Величины всех углов определя!
ются точностью изготовления кристалла, а величина dq и точно!
стью совмещения шаблона в процессе изготовления устройства.
Так, при небольших углах разориентации относительное измене!
ние скорости равно для ниобата лития YZ!среза
= [13,8(dn)
2
+ 618dm + 138(dq)
2
] × 10
–6
, (3)
а для ST!кварца
= [343dn + 99(dm)
2
+ 58(dq)
2
] × 10
–6
. (4)
Все значения углов в формулах (3), (4) выражены в градусах.
На практике для приемлемой точности значения скорости по!
грешность ориентации кристалла должна составлять менее 1°.
К изменению скорости распространения ПАВ приводят и эле!
менты топологии устройства (отражательные структуры в виде
решетки канавок или металлических электродов и т. д.).
Отличие реального значения скорости от значения, на основе
которого спроектировано устройство, приводит к некоторым от!
клонениям характеристик, примерно таким же, как и при изме!
нении температуры. Поэтому для компенсации значения скорос!
ти в термочувствительных подложках можно регулировать темпе!
ратуру [4]. Вопросы влияния температуры на скорость ПАВ будут
рассмотрены далее в подразд. 4.3.
Типовые значения скоростей ПАВ на свободной поверхности
большинства материалов составляют 2000–5000 м/с и не превы!
шают значение 12000 м/с (см. табл. 2).
4.2. Коэффициент электромеханической связи
Суть пьезоэлектрического эффекта состоит в наличии связи меж!
ду упругими деформациями и напряжениями в материале и на!
пряженностью электрического поля или вектором электрическо!
го смещения. Пьезоэффект характерен только для анизотропных
материалов, т. е. материалов, внутренняя структура которых не
имеет центра симметрии.
Для количественного описания пьезоэлектрического эффекта
используется коэффициент электромеханической связи (КЭМС),
определяющий соотношение между электрической и механичес!
кой энергиями в пьезоэлектрике [1]. Квадрат КЭМС можно выра!
зить соотношением
V¢- V
V
V¢- V
V
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 14
- 15
- 16
- 17
- 18
- …
- следующая ›
- последняя »
