Составители:
Рубрика:
43
Известно [25], что значения относительной толщины пленки,
при которых достигаются максимальный КЭМС и нулевой темпе!
ратурный коэффициент, не совпадают. Для оптимального соотно!
шения между этими параметрами вводят дополнительный проме!
жуточный слой между пьезоэлектрической пленкой и подлож!
кой, при этом толщину пленки выбирают из условия максимума
КЭМС, а толщину промежуточного слоя – из условия минимума
температурного коэффициента. Еще один способ улучшения тем!
пературной стабильности слоистых структур – управление темпе!
ратурными коэффициентами в процессе изготовления пленок (на!
пример, использованием легирования).
7. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ КЕРАМИКА
В качестве подложек АЭУ может применяться пьезокерамика. Пье!
зокерамика представляет собой поликристаллический материал зерни!
стой структуры. Она состоит из множества хаотически ориенти!
рованных кристаллитов. Хотя каждый отдельный кристаллит
обладает пьезоэффектом, хаотическая структура приводит к вза!
имной компенсации вкладов отдельных кристаллитов, и в обыч!
ном состоянии пьезокерамика не обладает пьезоэлектрическими
свойствами. Пьезоэффект появляется только после поляризации
керамики сильным электрическим полем, поэтому процесс изго!
товления подложки из пьезокерамики содержит дополнительную
технологическую операцию – поляризацию.
Типовые значения скоростей ПАВ в пьезокерамике составляют
2200–3800 м/с.
Таблица 6
Основные параметры пьезоэлектрических керамик
на основе ЦТС и КННБ
Марка керамики
Скорость
ПАВ, V, м/с
KЭМС k, %
Относи!
тельная
диэлект!
ричекая
проницае!
мость, ??
Доб!
рот!
ность,
Q
M
ТKЧ
10
–6
ЦТС!19 2100 0,31 1500+300 500 21
ЦТС+Pb(Mn
1/3
Nb
2/3
)O
3
2340 2,3 735 2350 17
ЦТС+Jn(Li,W)O
3
+MnO 2270 0,1 690 – 18
B!16, 17, 18 2200–2400 0,3–0,35 300+800 1750 25
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »
