Составители:
Рубрика:
6
ся на пьезоэлектрическую или непьезоэлектрическую подложку.
Структура пленок, их физические свойства и стабильность пара!
метров связаны с технологией получения пленок. Несмотря на
возможность управления параметрами акустических волн в та!
ких структурах, акустоэлектронные устройства (АЭУ) с примене!
нием пленок не получили широкого распространения. Это связа!
но, прежде всего, с трудностями теоретического исследования рас!
пространения волн в слоистых средах и технологическими слож!
ностями при изготовлении устройств.
В данном пособии сделана попытка обобщить основные сведе!
ния о пьезоэлектрических материалах, перечислить их основные
характеристики с точки зрения применения их в АЭУ. Отмечена
взаимосвязь параметров материалов и технических характерис!
тик реализуемых устройств. Выполнен обзор материалов, приме!
няемых в АЭУ в настоящее время. Особое внимание уделено ак!
тивно исследуемым в последнее время перспективным кварцепо!
добным кристаллам (таким, как лангасит, ланганит, лангатат и др.).
1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ ОБ АЭУ
Акустоэлектронные устройства состоят из пьезоэлектрической
подложки (звукопровода) с нанесенными на ее поверхность ме!
таллическими электродами и другими элементами [1-4] (рис. 1).
Устройства изготавливаются по планарной технологии, металли!
ческие структуры наносятся на поверхность подложки с помо!
щью методов фотолитографии [2, 3]. Готовые устройства запако!
вываются в корпуса и размещаются на печатной плате с помощью
стандартной технологии монтажа интегральных схем.
Рис. 1. Акустоэлектронное устройство
Вход
Выход
Пьезоэлектрическая подложка Акустический поглотитель
Входной преобразователь
Выходной преобразователь
ПАВ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 4
- 5
- 6
- 7
- 8
- …
- следующая ›
- последняя »
