Составители:
Рубрика:
8
Многополосковые ответвители обеспечивают смещение и раз!
деление акустических потоков. Акустические поглотители обес!
печивают гашение волн, чаще всего на границах подложки.
2. ТРЕБОВАНИЯ К МАТЕРИАЛАМ ПОДЛОЖЕК АЭУ
Требования к материалам подложек можно разделить на об!
щие (как к несущему элементу конструкции) и на требования,
предъявляемые исходя из физического принципа действия.
Среди общих требований можно выделить следующие. Подлож!
ка должна быть механически прочной и сохранять свои свойства
в широком диапазоне изменения температуры, влажности, вибра!
ции и т. п. Учитывая технологию изготовления ПАВ!устройств,
материал подложки, во!первых, должен допускать возможности
его механической обработки (резки на пластины, шлифовки, по!
лировки); во!вторых, должен быть химически нейтральным к ре!
активам, используемым в процессе изготовления металлических
электродных структур. Кроме того, важным (особенно с точки
зрения массового изготовления устройств) является свойство по!
вторяемости характеристик материалов от образца к образцу и
отработанная технология получения подложек больших размеров.
Как среда распространения волн материал должен быть одно!
родным, с малым поглощением акустических волн (что особенно
важно при работе на высоких частотах), являться эффективным
пьезоэлектриком и иметь малую диэлекрическую проницаемость,
а также обеспечивать термостабильную работу устройства. Тол!
щина подложки должна быть много больше длины волны, поэто!
му на низких частотах (менее 3 МГц) резко возрастают габариты
и стоимость требуемых подложек [5].
Очевидно, что список требований достаточно велик и подо!
брать материалы, удовлетворяющие всем требованиям, практи!
чески невозможно. Как обычно, в таком случае выбор осуществля!
ется исходя из некоторого компромисса.
3. ОБОЗНАЧЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ И ИХ СРЕЗОВ
Поскольку пьезоэлектрические материалы, обычно применяе!
мые в качестве подложек АЭУ, существенно анизотропны, то не!
обходимо указывать не только сам материал, но и выбранный срез
и направление распространения акустических волн. В отличие от
изотропных материалов, в анизотропных существует зависимость
свойств среды от направления. В АЭУ чаще используются различ!
ные синтетические монокристаллы. Характеристики распростра!
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 6
- 7
- 8
- 9
- 10
- …
- следующая ›
- последняя »
