Электрохимия полупроводников. Батенков В.А. - 156 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

156
Предме тный указатель
Aд-атомы, 48
Анодирование, 82
антимонида индия, 86, 90
арсенида галлия, 90
выбор условий, 89
историческая справка, 82
кремния, 90
общие закономерности, 83
полупроводников, 82
техника, 90
Анодное напряжение пробоя, 59
Анодное окисление
германия, 59
выход по току, 59
продукты окисления, 60
кремния
продукты окисления, 70
Анодное растворение, 54
анизотропное, 88
арсенида галлия n-типа, 76
наклон анодных кривых, 78
предельный анодный ток., 79
арсенида галлия р-типа, 75
германия n-типа
предельный анодный ток, 56
германия р-типа, 54
влияние рН раствора, 55
в растворах HF, 55
общая схема, 65
кремния n-типа, 70
кремния p-типа, 69
полирующее, 88
селективное, 88
Барьер
Бардина, 22
Шоттки, 21
Восстановление окислителей на полупроводни-
ке, 101
Время жизни неравновесных носителей заряда,
15, 17
Выделение водорода, механизм
на арсениде галлия 100
на германии 99
Генерация носителей заряда, 10, 14
биполярная, 10, 15
межзонная, 10, 14
монополярная, 10
примесная, 14
светом, 16
Грани и плоскости кристалла, 8
Диаграмма Е, рН для равновесной системы
арсенид галлиявода, 127
Диффузионная длина, 14
Диффузионное перенапряжение
в полупроводнике, 47
в растворе, 44
Диффузионный ток, 14
пазонов, 46
предельный, 43
частиц раствора, 42
Диффузия, 42
Дрейфовая подвижность, 13
Дрейфовый ток, 13
Дырка, 4, 9
Ёмкость границы раздела полупроводник
электролит, 30
Закон Фарадея, 32
Зона
валентная, 9
запрещённая, 10
проводимости, 9
Индексы Миллера, 8
Инжектирующие окислители, 58
Ионизация донорной примеси, 12
Катодное восстановление окислителей на по-
лупроводнике, 102
Катодное выделение металлов
влияние комплексообразования, 105
влияние плотности тока, 104
влияние природы металла, 104
влияние рН, 105
влияние состава раствора, 105
стадии процесса, 102
Катодные реакции
восстановления частиц раствора, 98
общие схемы, 98
разрушения полупроводников, 98
Квантовый выход, 15
Кинетика и механизм роста анодных пленок, 84
Конвекция, 42
Контакт металлполупроводник
вид ВАХ для разных структур, 113
влияние природы металла, 111
влияние природы полупроводника, 111
влияние условий нанесения металла, 111
вольтамперные характеристики, 20
высота барьера, 21
природа униполярной проводимости, 113
структура контакта, 21
схемы структур контактов, 112
термоэлектронная эмиссия, 22
физическая теория выпрямления, 22
физическая теория выпрямления, 110
электрическая схема контакта, 114
энергетическая схема, 21
Контролирующей стадия, 34
                         Предме тный указатель

Aд-атомы, 48                                        Диффузионное перенапряжение
Анодирование, 82                                      в полупроводнике, 47
  антимонида индия, 86, 90                            в растворе, 44
  арсенида галлия, 90                               Диффузионный ток, 14
  выбор условий, 89                                   пазонов, 46
  историческая справка, 82                            предельный, 43
  кремния, 90                                         частиц раствора, 42
  общие закономерности, 83                          Диффузия, 42
  полупроводников, 82                               Дрейфовая подвижность, 13
  техника, 90                                       Дрейфовый ток, 13
Анодное напряжение пробоя, 59                       Дырка, 4, 9
Анодное окисление
  германия, 59                                      Ёмкость границы раздела полупроводник –
    выход по току, 59                                 электролит, 30
    продукты окисления, 60                          Закон Фарадея, 32
  кремния                                           Зона
    продукты окисления, 70                            валентная, 9
Анодное растворение, 54                               запрещённая, 10
  анизотропное, 88                                    проводимости, 9
  арсенида галлия n-типа, 76
    наклон анодных кривых, 78                       Индексы Миллера, 8
    предельный анодный ток., 79                     Инжектирующие окислители, 58
  арсенида галлия р-типа, 75                        Ионизация донорной примеси, 12
  германия n-типа
    предельный анодный ток, 56                      Катодное восстановление окислителей на по-
  германия р-типа, 54                                 лупроводнике, 102
    влияние рН раствора, 55                         Катодное выделение металлов
    в растворах HF, 55                                влияние комплексообразования, 105
    общая схема, 65                                   влияние плотности тока, 104
  кремния n-типа, 70                                  влияние природы металла, 104
  кремния p-типа, 69                                  влияние рН, 105
  полирующее, 88                                      влияние состава раствора, 105
  селективное, 88                                     стадии процесса, 102
                                                    Катодные реакции
Барьер                                                восстановления частиц раствора, 98
  Бардина, 22                                         общие схемы, 98
  Шоттки, 21                                          разрушения полупроводников, 98
                                                    Квантовый выход, 15
Восстановление окислителей на полупроводни-         Кинетика и механизм роста анодных пленок, 84
  ке, 101                                           Конвекция, 42
Время жизни неравновесных носителей заряда,         Контакт металл – полупроводник
  15, 17                                              вид ВАХ для разных структур, 113
Выделение водорода, механизм                          влияние природы металла, 111
  на арсениде галлия 100                              влияние природы полупроводника, 111
  на германии 99                                      влияние условий нанесения металла, 111
                                                      вольтамперные характеристики, 20
Генерация носителей заряда, 10, 14                    высота барьера, 21
  биполярная, 10, 15                                  природа униполярной проводимости, 113
  межзонная, 10, 14                                   структура контакта, 21
  монополярная, 10                                    схемы структур контактов, 112
  примесная, 14                                       термоэлектронная эмиссия, 22
  светом, 16                                          физическая теория выпрямления, 22
Грани и плоскости кристалла, 8                        физическая теория выпрямления, 110
Диаграмма Е, рН для равновесной системы               электрическая схема контакта, 114
  арсенид галлия– вода, 127                           энергетическая схема, 21
Диффузионная длина, 14                              Контролирующей стадия, 34

                                              156