Электрохимия полупроводников. Батенков В.А. - 91 стр.

      Электрохимический метод: масса полученного оксида рассчитывается по закону Фа-
радея: m = QMη/Fn, а толщина плёнки δ из уравнения: m = ρV = ρδS. Необходимо знать со-
став и плотность формируемой пленки ρ, а также эффективность тока η.
      Ёмкостный метод: по значению ёмкости, измеренной на переменном токе: С = εоε1S/δ,
т. е. δ = εоε1S/С. Пригоден для тонких пленок с хорошими диэлектрическими свойствами.
Надо знать эффективное значение диэлектрической проницаемости оксида.
      По сопротивлению пленки, которое рассчитывается по значениям силы тока I и напряже-
ния U в конце анодирования: R = U/I = ρδ/S. Надо знать удельное сопротивление плёнки ρ.
      Оптические методы. Эллипсометрический метод, основанный на способности плен-
ки отражать поляризованнный свет. Необходимо знание коэффициентов преломления плён-
ки. Есть специальные приборы. Довольно сложный, но популярный метод.
      Метод ступеньки: по интерференционной картине, наблюдаемой в специальный ин-
терференционный микроскоп. Определяется высота ступеньки между поверхностью анода,
покрытой плёнкой оксида и свободной от неё (участок был защищён или оксид удалён).
      Метод потускнения или окраски оксида. Требуются специальные таблицы для оценки δ.


                                  Вопр ос ы

  1. Каково значение анодных процессов в электрохимии полупроводников?
  2. Кто и когда впервые детально изучал анодное и катодное поведение германия п- и р-типа?
  3. Почему процесс анодного растворения германия р-типа не зависит от концентрации
      акцепторной примеси?
  4. Каково влияние на кинетику анодного растворения германия р-типа концентрации
      ОН–-ионов и концентрации HF?
  5. Как определяется порядок электрохимической реакции по частицам раствора?
  6. Какова зависимость анодного перенапряжения от кристаллографической ориентации
      поверхности германиевого электрода? С чем она связана?
  7. Почему освещение практически не влияет на анодное растворение германия р-типа?
  8. Почему выход по току при анодном растворении германия может быть более 100 %?
  9. Каково состояние поверхности анодно поляризованного германия?
  10. Какие реакции контролируют процесс анодного растворения германия р-типа при раз-
      ных концентрациях HF и перенапряжениях?
  11. Чем обусловлено торможение процесса анодного растворения германия п-типа?
     Чем обусловлен предельный анодный ток у полупроводников п-типа? От чего это зависит?
  12. Какие факторы и как влияют на предельный анодный ток германия п-типа?
  13. Какие эксперименты показывают участие дырок при анодном растворении германия?
  14. Влияет ли освещение на кинетику анодного растворения германия п-типа и почему?
  15. Почему увеличение температуры сильно влияет на предельный ток анодного растворе-
      ния германия п-типа и мало влияет на скорость анодного растворения германия р-типа?
  16. Чем обусловлено умножение анодного тока при анодном растворении германия п-типа?
  17. Как коэффициент умножения анодного тока для германия п-типа зависит от плотности
      анодного тока? Как экспериментально определяют этот коэффициент?
  18. Какова природа умножения анодного тока для германия?
  19. Каким уравнением можно описать предельный ток для германия п-типа?
  20. Что такое напряжение пробоя и какова его взаимосвязь с концентрацией носителей в
      германии п-типа?
  21. Каков выход по току при анодном растворении германия? Как он рассчитывается?
  22. Какие кислородные соединения германия могут образовываться при анодной поляри-
      зации германия? Какова их растворимость, кислотные свойства?
  23. Какова схема анодного растворения германия: а) по Тарнеру, б) по Геришеру, в) до
      германия (II)? Каковы достоинства и недостатки этих схем?
                                            91