Электрохимия полупроводников. Батенков В.А. - 93 стр.

  58. Что такое анодирование? Где оно используется?
  59. В чем аналогия и различие анодирования, оксидирования, анодного окисления, пассивации?
  60. Кто и когда изучал анодирование полупроводников?
  61. Почему для изучения пассивации анода удобнее использовать потенциостатический
      режим поляризации?
  62. Дайте характеристику отдельным участкам анодной кривой I -Е, отражающей стадии
      активации и пассивации анода?
  63. Что такое анодная пассивация и транспассивация? Чем они обусловлены?
  64. Какова эмпирическая зависимость ионного тока через анодную плёнку от напряжён-
      ности в ней электрического поля?
  65. Напишите теоретическое уравнение ионного тока и разъясните смысл его сомножителей.
  66. Какие факторы определяют скорость роста толщины анодной плёнки? Каким уравне-
      нием она описывается?
  67. Какова зависимость толщины анодной пленки от плотности анодного тока, от времени
      при постоянном токе и при постоянном напряжении?
  68. Какова взаимосвязь потенциала пассивации и напряженности поля в анодной пленке?
  69. Как по данным анодной поляризации можно оценить толщину анодной пленки?
  70. Приведите общий вид анодной потенциодинамической кривой для анодной поляриза-
      ции антимонида индия и дайте характеристику ее отдельным участкам?
  71. Каким процессам (реакциям) соответствуют различные участки анодной кривой при
      анодной поляризации антимонида индия?
  72. Какова зависимость кинетики анодирования антимонида индия от состава раствора?
  73. Чем обусловлен выбор условий анодного полирования полупроводников, их селектив-
      ного анодного растворения?
  74. Какие условия процесса необходимо обеспечить при анодной резке полупроводника?
  75. Какие устройства используют для электрополирования и анодной резки полупроводников?
  76. Каковы составы растворов, устройства, режимы, которые используют для анодного рас-
      творения германия и арсенида галлия?
  77. Каким образом выбираются условия анодирования?
  78. В чем преимущества комбинированного режима анодирования?
  79. Каковы составы растворов, режимы, устройства, которые используют при анодировании
      антимонида индия, арсенида индия, арсенида галлия.


                                        З а да ч и
     l. Используя значения концентрации ОН–-ионов и тока, приведенные в таблице в виде
дроби Сон (моль/л) /I (мА) (три точки), постройте график lg I – lg Coн и определите порядок
реакции анодного растворения германия по ОН–-ионам.

Вариант       а      б      в       г      д        е    ж      з      и      к       л      м
  Coн /I,   0.2/5 0.1/1 0.3/9 0.2/1.6 0.1/4 0.3/4 0.2/6 0.1/2 0.1/3.2 0.2/8 0.3/6 0.2/2
(моль/л) / мА 0.5/13 0.4/15 0.7/21 0.4/6.3 0.3/12 0.5/10 0.4/12 0.2/9 0.5/16 0.7/28 0.6/12 0.4/10

            1.0/25 0.8/63 1.1/33 1.0/40 0.9/36 1.0/40 0.9/27 0.5/50 1.8/58 0.9/36 1.1/22 1.0/44

      2. По приведенным в таблице данным для перенапряжения η (В) и анодного тока i
(мкА/см2) растворения арсенида галлия п-типа постройте в координатах η– lg i график, опре-
делите экстраполяцией lg iо, рассчитайте для 25°С коэффициент наклона прямой b и коэффи-
циент переноса α (п = 1), по уравнению (2.47б) из взаимосвязи "b" с "п", используя значение
nbd = 3.5*1017 см–3, оцените концентрацию электронов п (в см–3), напишите эмпирическое
уравнение для зависимости перенапряжения от анодного тока, описывающее имеющиеся
данные для токов от 0.0l i o до l000i o, изобразите данные графически через 0.5 lg i.
                                               93