Интегральные устройства РЭ. Белова И.В. - 20 стр.

UptoLike

Составители: 

Таким образом, для получения широкополосных устройств на ПАВ тре-
буются материалы с более высоким коэффициентом электромеханической свя-
зи и относительная полоса пропускания устройств для каждого пьезоэлектрика
ограничена. Например, кварц ST-среза используется для устройств с полосой
(0.32)%, танталат лития- (410)%, ниобат лития – (10…23)%.
Для преобразователя с равномерной решеткой из N электродов, учитывая
(1.11) и (1.21), можно
сделать вывод, что для каждого пьезоэлектрического ма-
тер иала существует оптимальное число электродов
2
k
N
опт
π
= (1.22)
при котором
kff
o
Δ
max
)/( .
Каждый материал имеет свой температурный коэффициент частоты
Tf
f
f
Δ
Δ
=
α
(1.23)
где
T
Δ разность тем ператур эксплуатации.
Наибольшей тем пературной стабильностью из всех пьезоэлектриков об-
ладает кварц, пьезоэлектрики с сильным пьезоэффектом значительно уступают
ему по температурной стабильности.
Кроме этих параметров материалов при создании высокочастотных уст-
ройств на ПАВ необходимо учитывать затухание поверхностных волн при рас-
пространении.
В качестве материала для решетки ВШП в большинстве устройств
на
ПАВ используют алюминий, нанесенный в виде пленки методом термовакуум-
ного испарения. Толщина пленки колеблется в пределах 0,08...0,3 мкм, в зави-
симости от рабочей частоты устройств. Для увеличения адгезии алюминия ис-
пользуется подслой ванадия толщиной 5...30 нм.
Для устранения отражений акустический поглотитель наносят на торцы
звукопровода и на участки рабочей поверхности непосредственно
за преобра-
зователем. Толщина поглотителя обычно находится в пределах 0,1...0,8
мм. В
качестве акустических поглотителей можно применять материалы на основе