Интегральные устройства РЭ. Белова И.В. - 18 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1.6. Материалы для устройств на ПАВ

Основой любого устройства на ПАВ является пьезоэлектрик, в котором

происходит возбуждение, детектирование и распространение поверхностных

акустических волн. Поэ тому свойства этих материалов определяют параметры

устройств. Параметры наиболее часто используемых пьезоэлектриков приведе-

ны в табл. 1.3.

Скорость распространения ПАВ в пьезоэлектрике является основным па-

раметром. Она определяет

границу верхних частот, а так же габариты устройст-

ва.

Для расширения высокочастотного диапазона устройств на ПАВ необхо-

димы материалы с высокой скоростью распространения. Так, процессы фото-

литографии позволяют создавать минимальные размеры элементов 1 мкм, то

есть средняя частота устройства на ниобате лития составляет 872 МГц.

Для расширения низкочасто тного диапазона необходимы материалы с

малой

скоростью распространения. Например, размеры подложки из кварца для

фильтра промежуточной частоты УКВ ЧМ приёмников на 10,7 МГц составляют

40х15х2

мм, причем коэффициент прямоугольности этого фильтра по уровням

3 и 40 дБ не менее 3,5. Снижение коэффициента прямоугольности до 2,5 приво-

дит к возрастанию размеров подложки до 70х15х2 мм. А размеры подложки из

силиката висмута для того же фильтра составляет 20х8х0,5 мм, а из сульфида

талия ванадия 11х4,5х0,5 мм. Объем подложки

из этого материала меньше объ-

ема кварцевой подложки почти в 50 раз.

Следующий важный параметр материала - его пьезоэлектрические свой-

ства, мерой которых является коэффициент электромеханической связи к

Чтобы потери в устройстве были минимальными, необходимо выполнить

условие

≤

(1.21)