Физика полупроводниковых наноструктур. Борисенко С.И. - 10 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

собой одномерный электронный газ. Материалом для создания кванто-

вых нитей служат, в основном, одиночные гетероструктуры. С помо-

щью литографической процедуры движение двумерных носителей заря-

да в ней ограничивается еще в одном направлении. Достигается это

либо «вырезанием» узкой полоски с двумерным газом (рис. 1.8 а), либо

нанесением на поверхность структуры слоя из металла, создающего с

полупроводником контакт Шоттки и имеющего узкую щель (рис. 1.8 б).

В последнем случае поле на контакте выталкивает двумерные носители

заряда в область под щелью, создавая тем самым одномерный газ. Изме-

няя это поле с помощью напряжения, подаваемого на металлический

контакт, можно менять толщину квантовой нити и концентрацию носи-

телей заряда в ней.

1.4. Квантовые точки

Квантовыми точками (КТ) или ящиками называются структуры, в

которых движение носителей заряда ограничено по всем трем координа-

там, т.е. носители заряда находятся в трехмерной потенциальной яме. За

счет размерного квантования энергетический спектр носит атомный ха-

рактер. Газ носителей заряда в таких структурах называется нульмер-

ным.

Одним из способов создания квантовых точек, как и квантовых ни-

тей, является метод субмикронной литографии. Для этого на двумерной

структуре нужно изменить картинку травления, при которой остаются

нетронутыми отдельные полосы для нитей, на картинку, при которой

остаются отдельные кружки или другие плоские фигуры. Либо наобо-

рот вытравливать в металлическом покрытии гетероструктуры отдель-

ные плоские области, соответствующие квантовым точкам (см рис. 1.9).

Недостатком методов субмикронной литографии являются то, что они

являются достаточно дорогими и имеют естественные ограничения по

боковым размерам создаваемых точек по сравнению с ее размерами

вдоль оси роста гетероструктуры.

Рис. 1.9. Квантовые точки, сформированные в двумерном электронном газе на

границе двух полупроводников [12].