ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
Настоящее пособие является продолжением учебно -методических
материалов по физике полупроводников (№761, № 822, ВГУ ), в котором
рассмотрены объемные свойства полупроводниковых материалов и методы
их исследования. В связи с постоянным уменьшением геометрических
размеров полупроводниковых приборов неизменно возрастает значимость
поверхностных свойств полупроводников, изучению которых и посвящены
данные учебные материалы. В пособии рассмотрена классификация
поверхностных электронных состояний, дано введение в
феноменологическую теорию поверхности и описание основных
поверхностных свойств полупроводников. Особое внимание уделено
моделированию важнейших электрофизических характеристик
приповерхностной области пространственного заряда полупроводника , так
как именно эти характеристики определяют рабочие параметры МДП-
транзисторов и других полевых полупроводниковых приборов, активно
действующей областью которых является приповерхностная область
полупроводника .
Материалы учебного пособия подготовлены для самостоятельных и
практических занятий по курсу «Физика полупроводников», который
читается для студентов 3 курса , обучающихся по специальности
«Микроэлектроника и полупроводниковые приборы» , однако могут
представлять интерес и для студентов других физических специальностей.
Печатается по решению НМС физического
факультета от 26 декабря 2001г.
Н а сто ящ е е по со б и е являе тся пр о до лж е ни е м уче б но -ме то ди че ски х
ма те р и а ло в по ф и зи ке по лупр о во дни ко в (№ 761, № 822, В ГУ ), в ко то р о м
р а ссмо тр е ны о б ъ е мные сво йства по лупр о во дни ко вых ма те р и а ло в и ме то ды
и х и ссле до ва ни я. В связи с по сто янным уме ньш е ни е м ге о ме тр и че ски х
р а зме р о в по лупр о во дни ко вых пр и б о р о в не и зме нно во зр а ста е т зна чи мо сть
по ве р хно стных сво йств по лупр о во дни ко в, и зуче ни ю ко то р ых и по свящ е ны
да нные уче б ные ма те р и а лы. В по со б и и р а ссмо тр е на кла сси ф и ка ци я
по ве р хно стных э ле ктр о нных со сто яни й, да но вве де ни е в
ф е но ме но ло ги че скую те о р и ю по ве р хно сти и о пи са ни е о сно вных
по ве р хно стных сво йств по лупр о во дни ко в. О со б о е вни ма ни е уде ле но
мо де ли р о ва ни ю ва ж не йш и х э ле ктр о ф и зи че ски х ха р а кте р и сти к
пр и по ве р хно стно й о б ла сти пр о стр а нстве нно го за р яда по лупр о во дни ка , та к
ка к и ме нно эти ха р а кте р и сти ки о пр е де ляю т р а б о чи е па р а ме тр ы М Д П -
тр а нзи сто р о в и др уги х по ле вых по лупр о во дни ко вых пр и б о р о в, а кти вно
де йствую щ е й о б ла стью ко то р ых являе тся пр и по ве р хно стна я о б ла сть
по лупр о во дни ка .
М а те р и а лы уче б но го по со б и я по дго то вле ны для са мо сто яте льных и
пр а кти че ски х за няти й по кур су «Ф и зи ка по лупр о во дни ко в», ко то р ый
чи та е тся для студе нто в 3 кур са , о б уча ю щ и хся по спе ци а льно сти
«М и кр о э ле ктр о ни ка и по лупр о во дни ко вые пр и б о р ы», о дна ко мо гут
пр е дста влятьи нте р е с и для студе нто в др уги х ф и зи че ски х спе ци а льно сте й.
П е ча та е тся по р е ш е ни ю Н М С ф и зи че ско го
ф а культе та о т26 де ка б р я 2001г.
2
