ВУЗ:
Составители:
3
ВВЕДЕНИЕ
Твёрдотельная микро- и наноэлектроника – наука об электронных
процессах в твёрдых телах, практическим применением которой явля-
ются устройства, управляющие электронными потоками – полупро-
водниковые приборы и микросхемы. Электронные потоки в полупро-
водниковых устройствах являются материальными носителями ин-
формации и энергии.
Эти устройства можно разделить на информационные и силовые.
Назначение информационных устройств – преобразование и хранение
информации. Поэтому во время работы они должны прежде всего ис-
ключать потери информации. Основное назначение силовой электро-
ники – преобразование энергетических потоков, поэтому при проекти-
ровании и применении таких устройств стремятся снизить энергетиче-
ские потери.
Однако, несмотря на значительные различия в подходах при соз-
дании изделий этих двух классов, для управления ими используются
одни и те же принципы, реализованные в базовых полупроводниковых
приборах (элементах).
В настоящее время число наименований материалов, применяе-
мых в электронной технике для различных целей, составляет несколь-
ко тысяч.
Использование материалов предполагает определённый выбор, а
для этого необходимо знать свойства материалов или определять их
экспериментально.
Как правило, при решении инженерных задач требуется искать
компромиссное решение, используя весь комплекс свойств материалов.
Наибольшую долю во всей массе материалов, применяемых в
твёрдотельной микро- и наноэлектронике, составляют материалы на
основе чистых металлов и сплавов, а также простые и сложные полу-
проводниковые соединения.
Особая роль в создании материалов микро- и наноэлектроники
принадлежит технологии получения новых наноструктурированных
полупроводниковых изделий (нанодиоды, нанотранзисторы и др.)
