Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 24 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МГТУ им. Баумана | Москва

Составители: 

Рубрика: 

2
НЭМС
(Si, SiC, Al
2
O
3
, SiO
2
и т.п.)
10-100
Селективное
травление с ис-
пользованием
химических,
электрохим.,
плазменных,
комбинир. мето-
дов; термоадге-
зионное, термо-
электростиму-
лированное сра-
щивание;
Нанодатчики, активные
и пассивные элементы
ИС с улучш. Характе-
ристиками, трехмерные
ИС, оптические систе-
мы, системы управле-
ния и обработки
информации,
лаборатории на чипе,
СВЧ приборы
Помехоза-
щищен-
ность,
уменьше-
ние пара-
зитных
наводок,
надеж-
ность p-n
переходов
Наночастицы
1-100
Испарение и
конденсация;
высоко-энерг.
разрушение
(измельч., дето-
нац. обработка,
электр. взрыв);
синтез; терм.
разложение
Имплантация
и комбинирование
с другими
структурами
Улучшени
е свойств
структур
при
имплан-
тации
Нанопроводники и
нанотрубки
1-30
Зондовые
методики,
химич. и физич.
осаждение из
газовой фазы,
электродуговой
разряд,
термообработка
углеродосодерж
ащих структур
Сенсоры, эмиттеры,
транзисторы,
переключатели,
элементы памяти,
очень широкий круг
применения
нанотрубок
Высокие
прочност-
ные и элек-
трич. про-
водящие,
полупров. и
диэлектри-
ческие
свойства 
                                    Селективное
                                  травление с ис-   Нанодатчики, активные Помехоза-
                                   пользованием      и пассивные элементы   щищен-
                                    химических,      ИС с улучш. Характе-     ность,
                                    электрохим.,    ристиками, трехмерные уменьше-
       НЭМС
                                    плазменных,      ИС, оптические систе- ние пара-
(Si, SiC, Al2O3, SiO2   10-100
                                 комбинир. мето-     мы, системы управле-    зитных
        и т.п.)
                                 дов; термоадге-        ния и обработки     наводок,
                                 зионное, термо-          информации,        надеж-
                                  электростиму-      лаборатории на чипе,  ность p-n
                                 лированное сра-         СВЧ приборы       переходов
                                      щивание;
                                    Испарение и
                                   конденсация;
                                                                           Улучшени
                                   высоко-энерг.
                                                         Имплантация       е свойств
                                    разрушение
                                                      и комбинирование     структур
   Наночастицы          1-100    (измельч., дето-
                                                           с другими          при
                                  нац. обработка,
                                                         структурами        имплан-
                                  электр. взрыв);
                                                                             тации
                                   синтез; терм.
                                     разложение
                                      Зондовые
                                                                            Высокие
                                      методики,
                                                     Сенсоры, эмиттеры,    прочност-
                                 химич. и физич.
                                                        транзисторы,      ные и элек-
                                   осаждение из
                                                       переключатели,      трич. про-
Нанопроводники и                   газовой фазы,
                         1-30                         элементы памяти,     водящие,
   нанотрубки                    электродуговой
                                                     очень широкий круг   полупров. и
                                       разряд,
                                                         применения       диэлектри-
                                 термообработка
                                                         нанотрубок          ческие
                                 углеродосодерж
                                                                            свойства
                                  ащих структур




                                                                                        2

Страницы