Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 51 стр.

                             Рис.6.15. Метод Отображения Фазы.
    Широко используемый Прерывисто-контактный ("Полуконтактный"). Метод обладает
определенными недостатками, связанными с использованием системы обратной связи.
Скорость сканирования в "Полуконтактном" Методе ограничивается временем срабатывания
обратной связи. Однако, в результате правильного подбора коэффициента усиления обратной
связи этот недостаток может быть устранен. Также возможна настройка для оптимального
отображения пологих и незначительных изменений рельефа.




                   Рис.6.16. АСМ – Полуконтактный метод рассогласования.
    АСМ – бесконтактные методы - Бесконтактная ССМ (БК ССМ), предложенная в 1987 г.,
обладает уникальными возможностями по сравнению другими методами зондовой
микроскопии, такими как Контактная ССМ и СТМ. Отсутствие сил отталкивания в БК ССМ
позволяет использовать ее в исследованиях «мягких образцов», при этом в БК ССМ, в отличие
от СТМ, не требуется наличие проводящих образцов. БК ССМ использует принцип
определения «модуляции амплитуды». Соответствующая измерительная схема использует
изменения амплитуды колебаний кантилевера (A), обусловленные взаимодействием зонда с
образцом. Работа по методу БК ССМ может быть описан в терминах градиентно-силовой
модели. В соответствии с этой моделью в пределе малых A при приближении кантилевера к
образцу резонансная частота кантилевера fo сдвигается на величину df к своему новому
значению в соответствии с выражением

                                                                                      5