Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 49 стр.

                      Рис.6.12. АСМ – контактная емкостная микроскопия.
    В процессе реализации Метода Модуляции Силы одновременно со сканированием образца
в соответствии с Методом Постоянной Силы сканер (или образец) совершает вертикальные
периодические колебания. При периодическим движении кантилевер «чувствует» поверхность
образца. При этом давление зонда на поверхность образца не остается постоянной, но содержит
периодическую (обычно синусоидальную) компоненту. В соответствии с локальной
жесткостью образца величина соответствующих вмятин будет изменяться в процессе
сканирования. На жестких участках поверхности образца вмятины будут мельче, а на мягких
участках – глубже. Отслеживание рельефа поверхности образца проводится с использованием
усредненного изгиба кантилевера в системе обратной связи. Если известны величины
вертикального смещения сканера Dz, вертикального смещения зонда D и жесткость
кантилевера кс , то можно определить локальную жесткость исследуемого образца Кs:
                                      Кs = Кс· (Dz/D - 1)




                      Рис.6.13. АСМ – контактная емкостная микроскопия.

    В свою очередь при известной локальной жесткости можно определить модуль упругости
образца. Это может быть сделано с использованием калтибровочных измерений или с

                                                                                        5