Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 68 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МГТУ им. Баумана | Москва

Составители: 

Рубрика: 

7
Рис.7.9. Окно управления параметрами захвата взаимодействия (Landing)
№ Наименование
11 После захвата взаимодействия с целью уменьшения шумов установите следующие
значения параметров:
Feed Back Loop Gain 1,
Set Point 0.2 nA.
12 Если величина Z на индикаторе начнет уменьшаться, увеличьте один из параметров
Feed Back Loop Gain или Set Point пока величина Z не восстановится.
13 Откройте окно сканирования и выполните измерение рельефа образца 1, не изменяя
параметров сканирования (Не забывайте сохранять результаты после эксперимента).
14 После окончания эксперимента закройте окно сканирования и осуществите
отвод зонда от образца.
Установите Образец 2 и зондовый датчик (в соответствии с указаниями инструкции) и
установите метод СТМ.
Выполните предварительный подвод (Adjust)
Проведите захват взаимодействия Landing. После захвата взаимодействия установите
параметры, как в п. 10.
Перейдите к процедуре сканирования. Для улучшения качества изображения
рекомендуется перейти в режим Fine (кнопка на закладке Area).
Выберите область сканирования площадью ~1000 х 1000 нм на поле cканирования Area,
Установите параметры эксперимента: Velocity 1000нм/с., количество точек измерения в
линии NX= 100 (шаг сканирования Step X,Y при этом будет ~ 10 nm).
Запомните результат, закройте окно сканирования.
Отменить режим Fine (кнопка на закладке Area) -
Отведите зонд от образца (в режиме Landing)
Установите конфигурацию ССМ. Последовательно выполните пункты 4-7
Выполните измерение рельефа аналогично п. 16 в режиме Fine (кнопка на
закладке Area) 
      Рис.7.9. Окно управления параметрами захвата взаимодействия (Landing)

  №                                        Наименование
11      После захвата взаимодействия с целью уменьшения шумов установите следующие
        значения параметров:
        Feed Back Loop Gain                      1,
        Set Point                                0.2 nA.
12      Если величина Z на индикаторе начнет уменьшаться, увеличьте один из параметров
        Feed Back Loop Gain или Set Point пока величина Z не восстановится.
13      Откройте окно сканирования и выполните измерение рельефа образца 1, не изменяя
        параметров сканирования (Не забывайте сохранять результаты после эксперимента).
14      После окончания эксперимента закройте окно сканирования и осуществите
        отвод зонда от образца.

Установите Образец 2 и зондовый датчик (в соответствии с указаниями инструкции) и
установите метод СТМ.
Выполните предварительный подвод (Adjust)
Проведите захват взаимодействия Landing. После захвата взаимодействия установите
параметры, как в п. 10.
Перейдите к процедуре сканирования. Для улучшения качества изображения
рекомендуется перейти в режим Fine (кнопка       на закладке Area).
  Выберите область сканирования площадью ~1000 х 1000 нм на поле cканирования Area,
Установите параметры эксперимента: Velocity 1000нм/с., количество точек измерения в
линии NX= 100 (шаг сканирования Step X,Y при этом будет ~ 10 nm).
Запомните результат, закройте окно сканирования.
   Отменить режим Fine      (кнопка     на закладке Area) -
Отведите зонд от образца (в режиме Landing)
Установите конфигурацию ССМ. Последовательно выполните пункты 4-7
Выполните измерение рельефа аналогично п. 16 в режиме Fine (кнопка                  на
закладке Area)
                                                                                    7

Страницы