Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 70 стр.

    7.3. Лабораторная работа № 3. Обработка и количественный анализ СЗМ-
                                 изображений.

Цели работы:
Получить практические навыки в области обработки и количественного анализа СЗМ
изображений.

Методические указания
1.     Анализ ранее полученного изображения.
2.     Проведение измерений получение нового изображения, обработка и анализ этого
изображения.

Оборудование и принадлежности
Прибор NanoEducator
Образцы с периодическими структурами.

Подготовка лабораторной работы
№          Наименование этапа (выполняется преподавателем или инженером)
1          Выбор образца для исследования: тестовый образец c периодической структурой
           или любой другой по выбору преподавателя
2          Подбор зонда с наиболее характерной амплитудно-частотной характеристикой
           (одиночный симметричный максимум)
3          Получение эталонного изображения поверхности исследуемого образца для
           последующей проверки

Проведение лабораторной работы
   №                                   Этапы проведения работы
1           Изучение теоретической части студентов и подготовка краткого конспекта
2           Получение изображения выполняется на одном приборе под присмотром
            преподавателя
3           Обработка экспериментальных данных каждым студентом индивидуально
            (практическая часть работы выполняется на одном занятии и занимает 4 часа)
4           Задания
            1)    Выполнить фильтрацию изображения.
            2)    Измерить и сравнить параметры шероховатости изображений до и после
            фильтрации.
            3)    Построить     Фурье-спектр    изображения     и   измерить     величины
            преобладающих пространственных частот спектра, сравнить соответствующие
            этим частотам периодыповторения элементов изображения с интервалами,
            полученными при измерениях наизображении.         Определить    углы     между
            направлениями на изображении двумяспособами и сравнить результаты.

5           Анализ результатов работы, оформление отчета и его защита




                                                                                    7