Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 81 стр.

     переключателе «Frequency Range» в положении 10). Измерьте графики
     зависимости       амплитуды      колебаний       от     частоты      при  положениях
     переключателя«Frequency Range» на значениях 2 и 50. Сохраните АЧХ в том
     частотном интервале, в котором присутствует резонансный пик колебаний
     сканера.
8    Исследуйте влияние веса образца на резонансную частоту сканера, на котором он
     установлен. Для этого установите на держатель образец весом более одного
     грамма(например, монету). Масса монет достоинством в 10 копеек - 2,0 г., 5
     копеек - 2,5 г., 50копеек - 2,90 г., 1 рубль - 3,30 г., 2 рубля - 5,20 г.
9    Повторите измерение резонансной частоты сканера с грузом. Вследствие
     увеличения массы колебательной системы резонансный пик сканера может
     сместиться в другой частотный интервал, однако форма максимума не
     изменится. Сохраните АЧХ в том частотном интервале, в котором присутствует
     резонансный пик колебаний сканера. Сравните полученные результаты.
10        Заройте программу NanoEducator и выключите электронный блок.
11   Отсоедините переходный кабель от гнезда датчика взаимодействия и от
     разъема измерительной головки. Подсоедините вместо него кабель, по которому
     подается напряжение на сканер от электронного блока.

      7.4.4. Определение нелинейности сканера по тестовой решетке TGX1

№                                   Этапы проведения работы
12          Установите на держатель образца тестовую решетку TGX1. Установите в гнездо
            измерительной головки зондовый датчик.
13          Запустите управляющую программу прибора NanoEducator. Выберите режим
            сканирующего силового микроскопа (ССМ).
14        Осуществите сближение зонда с образцом с помощью винта ручного подвода до
     расстояния примерно 1 мм.
15        Осуществите захват взаимодействия при значениях:
          Amplitude Suppression = 0,3;
          Feed Back Loop Gain = 3.
16        Откройте окно сканирования. Задайте необходимые параметры сканирования,
     исходя из предварительных сведений об исследуемом образце.
17        Получите СЗМ изображение поверхности образца. Сохраните полученные
     результаты.
18        Повторите измерение топографии, передвинув выбранное поле сканирования(при
     нажатой правой кнопке мыши) на другой участок доступной области сканированияArea.
     При резком переходе в другую область или изменении размеров области
     сканирования наблюдается характерный «загиб» картинки, связанный с ползучестью
     пьезокерамики сканера. Подождите около двух минут, пока результаты сканирования не
     станут воспроизводиться с минимальными искажениями, после чего перезапустите
     сканирование. Сохраните полученное изображение.
19        Определите для полученных изображений точность калибровки сканера по осям X,
     Y и Z как отклонение периода и высоты элементов тестовой решетки от их
     номинальных значений.
20        Определите для полученных изображений нелинейность сканера как
     отклонение в процентах периода дифракционной решетки, измеренных по первому и
     последнему периоду на линиях вдоль оси X (оси быстрого сканирования) и оси Y.
21        Оцените для полученных изображений отклонение угла квадратов решетки от 90
     градусов.



                                                                                            8