Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 83 стр.

                           7.4.5. Исследование термодрейфа

№                                   Этапы проведения работы
22        Не выходя из обратной связи, получите СЗМ изображение на горизонтальном
          участке тестовой решетки TGX1 на площади не более одного квадратного
          микрометра. Сохраните полученное изображение и зафиксируйте время, когда
          получена картинка. Заметьте на изображении характерную особенность, по
          сдвигу которой на повторном скане можно будет определить величину
          термодрейфа.
23        Повторите сканирование через несколько минут, не изменяя параметров
     сканирования. Сохраните полученное изображение и зафиксируйте время, когда получена
     картинка.
24        Найдите на повторном скане замеченную характерную особенность. Сравнивая
     координаты одного и того же места на образце, полученные через разные промежутки
     времени, определите скорость взаимного дрейфа зонда и образца по осям X и Y (нм/с).
25        Оцените возможную величину термодрейфа теоретически при изменении
     температуры, произошедшей за время эксперимента. Сравните вычисленные результаты с
     экспериментальными.

            7.4.6. Определение формы зонда по тестовой решетке TGT1

№                                    Этапы проведения работы
26         Установите на держатель образца исследуемый образец - тестовую решеткуTGT1.
27         Установите зондовый датчик в гнездо измерительной головки прибора
     NanoEducator. Лишь слегка затяните прижимающий винт.
28         Запустите управляющую программу прибора NanoEducator. Выберите режим
     сканирующего силового микроскопа (ССМ).
29         Произведите настройку датчика на резонанс. Рекомендуется устанавливать
     величину амплитуды, задаваемой генератором, минимальной (вплоть до нуля) и не
     более50 М V. При недостаточной величине амплитуды ответных колебаний зонда
     (<1 V)рекомендуется увеличить коэффициент AM Gain.
           Если на графике есть несколько пиков, попытайтесь уменьшить амплитуду
     дополнительных пиков, подбирая степень прижатия датчика винтом фиксации.
30         Осуществите сближение зонда с образцом с помощью винта ручного подвода до
     расстояния примерно 1 мм.
31         Войдите в меню «Landing». Увеличьте в окне «Options» значение «Integrator delay»
     (время, необходимое для вытягивания сканера на полный диапазон при включении
     следящей системы) до 1000 мс, что позволит осторожно осуществлять сближение.
     Установите значение «Amplitude Suppresion» равным приблизительно 0,2. Эта
     предосторожность нужна на случай захвата взаимодействия на вершине или склоне иглы
     на тестовом объекте, где работа следящей системы может быть неустойчивой.
32         Осуществите      сближение,     нажав    кнопку    «Start».    После    захвата
     взаимодействия(появится надпись OK) уменьшите величину взаимодействия до значения
     0,1. Убедитесь, что величина Z не уменьшается.
33         Откройте окно сканирования, нажав в меню кнопку «Scan». Задайте
     необходимые параметры сканирования. Для тестового образца TGT1 скорость
     сканирования рекомендуется установить не более 1000 nm/s, шаг сканирования - меньше,
     чем ожидаемая величина радиуса закругления кончика зонда (<100 nm).
34         Получите топографию поверхности образца.          Сохраните полученное СЗМ
     изображение.
35         Осуществите отвод зонда от поверхности образца сначала в автоматическом режиме

                                                                                     9