Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование. Булыгина Е.В - 84 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МГТУ им. Баумана | Москва

Составители: 

Рубрика: 

9
«Rising», а потом вручную на безопасное расстояние.
36 Выньте датчик с зондом из гнезда измерительной головки прибора
NanoEducator.
7.4.7. Электрохимическая перезаточка зонда и повторное определение
формы зонда по тестовой решетке TGT1
№ Этапы проведения работы
37 Осуществите электрохимическую перезаточку или изготовление нового зонда в
соответствии с описанной выше методикой.
38 После перезаточки или изготовления нового зонда осуществите повторное
определение формы зонда по тестовой решетке TGT1 в соответствии с п.7.4.6 Задания.
39 Постройте на одном графике профили линии через вершинку зонда до и после
перезаточки. Сравните полученные результаты.
40 Оцените разрешение при сканировании зондом ступеньки высотой 10, 100 и 300
нм, как расстояния между реальной и кажущейся точкой контакта зонда ступеньки,
которое пропорционально диаметру зонда на высоте ступеньки.
Контрольные вопросы
1. Что такое прямой и обратный пьезоэффект?
2. Объясните понятие пьезоэлектрического эффекта на примере кварца и принцип
действия пьезоэлектрического двигателя?
3. Объясните возможные артефакты, вносимые пьезокерамикой: нелинейность,
гистерезис, ползучесть, температурный дрейф. Каковы способы борьбы с ними?
4. Какие виды сканеров Вы знаете?
5. Назовите виды искажений, вносимые сканерами в СЗМ изображение?
6. Перечислите основные виды зондов, используемых в СЗМ, и способы их
изготовления?
7. Опишите «идеальный» СЗМ зонд?
8. Какие искажения способны вызвать зонды при отображении различных
поверхностных особенностей?
9. Опишите устройство для изготовления СЗМ зондов для прибора NanoEducator?
10. Расскажите о методе электрохимического травления?
      «Rising», а потом вручную на безопасное расстояние.
36          Выньте датчик с зондом из гнезда измерительной              головки   прибора
      NanoEducator.

       7.4.7. Электрохимическая перезаточка зонда и повторное определение
                    формы зонда по тестовой решетке TGT1

№                                   Этапы проведения работы
37         Осуществите электрохимическую перезаточку или изготовление нового зонда в
      соответствии с описанной выше методикой.
38         После перезаточки или изготовления нового зонда осуществите повторное
      определение формы зонда по тестовой решетке TGT1 в соответствии с п.7.4.6 Задания.
39         Постройте на одном графике профили линии через вершинку зонда до и после
      перезаточки. Сравните полученные результаты.
40         Оцените разрешение при сканировании зондом ступеньки высотой 10, 100 и 300
      нм, как расстояния между реальной и кажущейся точкой контакта зонда ступеньки,
      которое пропорционально диаметру зонда на высоте ступеньки.

                                   Контрольные вопросы

     1. Что такое прямой и обратный пьезоэффект?
     2. Объясните понятие пьезоэлектрического эффекта на примере кварца и принцип
         действия пьезоэлектрического двигателя?
     3. Объясните возможные артефакты, вносимые пьезокерамикой: нелинейность,
         гистерезис, ползучесть, температурный дрейф. Каковы способы борьбы с ними?
     4. Какие виды сканеров Вы знаете?
     5. Назовите виды искажений, вносимые сканерами в СЗМ изображение?
     6. Перечислите основные виды зондов, используемых в СЗМ, и способы их
         изготовления?
     7. Опишите «идеальный» СЗМ зонд?
     8. Какие искажения способны вызвать зонды при отображении различных
         поверхностных особенностей?
     9. Опишите устройство для изготовления СЗМ зондов для прибора NanoEducator?
     10. Расскажите о методе электрохимического травления?




                                                                                      9

Страницы