Составители:
Рубрика:
9
СОДЕРЖАНИЕ
1. Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование 3
1.1. Общие сведения о наноразмерных структурах 3
1.2. Особенности свойств наноструктур 13
1.2.1. Термодинамические свойства 14
1.2.2. Свойства проводимости 15
1.2.3. Магнитные свойства 15
2. Методы получения наноструктур 18
3. Применение наноструктур для создания элементов приборных устройств 22
4. Исследование существующих наноструктурированных материалов и
наноразмерных структур и их особенностей для
технологического
проектирования элементов наноэлектроники
25
4.1. Свойства 3D-наноструктур с фотонной запрещенной зоной на основе
опаловых матриц
25
4.2. Варианты наноструктур на основе опаловых матриц 27
4.3. Области применения 3D-нанокомпозитов на основе опаловых матриц 28
5. Методы получения наноструктурированных материалов и наноразмерных
структур
31
5.1. Анализ методов нанесения тонких пленок в вакууме на поверхность
опаловых матриц
31
5.2. Внедрение материалов в поры опаловой матрицы электрохимическим
осаждением
34
6. Исследование наноструктур с помощью сканирующей зондовой микроскопии 38
7. Сканирующая зондовая микроскопия – лабораторный практикум 43
7.1. Лабораторная работа №1. Подготовка и проведение СЗМ
эксперимента
43
7.1.1 Изучение теоретической части 44
7.1.2. Получение СЗМ изображения 44
7.2. Лабораторная работа № 2. Визуализация наноструктур с помощью
СЗМ.
50
7.2.1 Изучение теоретической части 51
7.2.2. Выполнение лабораторной работы 51
7.3. Лабораторная работа № 3. Обработка и количественный анализ СЗМ-
изображений.
55
7.3.1 Изучение теоретической части 55
7.3.2. Выполнение лабораторной работы 55
7.4. Лабораторная работа № 4. Изготовление зондов и исследование
влияние их характеристик на результаты сканирования
7.4.1 Изучение теоретической части 55
7.4.2. Выполнение лабораторной работы 55
7.4.3. Измерение резонансной частоты сканера. 60
7.4.4. Определение нелинейности сканера по тестовой решетке
TGX1.
62
7.4.5. Исследование термодрейфа 64
7.4.6. Определение формы зонда по тестовой решетке TGT1. 65
СОДЕРЖАНИЕ
1. Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование 3
1.1. Общие сведения о наноразмерных структурах 3
1.2. Особенности свойств наноструктур 13
1.2.1. Термодинамические свойства 14
1.2.2. Свойства проводимости 15
1.2.3. Магнитные свойства 15
2. Методы получения наноструктур 18
3. Применение наноструктур для создания элементов приборных устройств 22
4. Исследование существующих наноструктурированных материалов и 25
наноразмерных структур и их особенностей для технологического
проектирования элементов наноэлектроники
4.1. Свойства 3D-наноструктур с фотонной запрещенной зоной на основе 25
опаловых матриц
4.2. Варианты наноструктур на основе опаловых матриц 27
4.3. Области применения 3D-нанокомпозитов на основе опаловых матриц 28
5. Методы получения наноструктурированных материалов и наноразмерных 31
структур
5.1. Анализ методов нанесения тонких пленок в вакууме на поверхность 31
опаловых матриц
5.2. Внедрение материалов в поры опаловой матрицы электрохимическим 34
осаждением
6. Исследование наноструктур с помощью сканирующей зондовой микроскопии 38
7. Сканирующая зондовая микроскопия – лабораторный практикум 43
7.1. Лабораторная работа №1. Подготовка и проведение СЗМ 43
эксперимента
7.1.1 Изучение теоретической части 44
7.1.2. Получение СЗМ изображения 44
7.2. Лабораторная работа № 2. Визуализация наноструктур с помощью 50
СЗМ.
7.2.1 Изучение теоретической части 51
7.2.2. Выполнение лабораторной работы 51
7.3. Лабораторная работа № 3. Обработка и количественный анализ СЗМ- 55
изображений.
7.3.1 Изучение теоретической части 55
7.3.2. Выполнение лабораторной работы 55
7.4. Лабораторная работа № 4. Изготовление зондов и исследование
влияние их характеристик на результаты сканирования
7.4.1 Изучение теоретической части 55
7.4.2. Выполнение лабораторной работы 55
7.4.3. Измерение резонансной частоты сканера. 60
7.4.4. Определение нелинейности сканера по тестовой решетке 62
TGX1.
7.4.5. Исследование термодрейфа 64
7.4.6. Определение формы зонда по тестовой решетке TGT1. 65
9
