ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Ниобат лития – 3,49 4,7 16,4
Золото 2,3 1,14 19,3 22,0
Германат висмута – 1,72 9,63 15,9
12,0−
0,16
Медь 1,72 2,1 8,9 18,7
Германат висмута – 1,72 9,63 16,6
−
0,0618
П3. Характеристики способов получения встречно-штыревых структур
Достигнутые вели-
чины, мкм
Способ полу-
чения
Теоретический предел
разрешающей способно-
сти, мкм
Разрешающая спо-
собность
Точность
Воспроиз- води-
мость
Рабочее
поле
Основные достоин-
ства
Основные не-
достатки
Причины ог-
раничения раз-
решающей
способности
Механическая
нарезка
2 10 2 3
50 × 200
Простота обору-
дования, большое
рабочее поле
Низкие про-
изводи-
тельность и
разрешающая
способность
Механическая
прочность
резца и пленки
материала
Механическая
гравировка
10 30 5 5
50 × 100
То же То же То же
Контактная
фотолито-
графия
0,25 1 0,5 0,8
25 × 25
Высокая произво-
дительность, низ-
кая стоимость,
простота
Необходимость
в фото-
шаблонах и их
быстрый износ
Дифракция,
точность со-
вмещения
Контактная
фотолито-
графия с за-
зором
2 10 2 1
80 × 80
Высокая произво-
дительность, боль-
шой срок службы
шаблонов
Недостаточное
разрешение
Наличие за-
зора
Контактная
фотолито-
графия с гиб-
ким фотошаб-
лоном
0,25 0,4 0,2 0,8
40 × 40
Низкий износ фо-
тошаблонов, вы-
сокая точность
передачи изобра-
жения, малые де-
фекты из-за пыли
Необходимость
плотного кон-
такта, невысо-
кая воспроиз-
водимость при
мультипли-
кациии
Дифракция
Проекционная
фотолито-
графия с
уменьшением
0,25
2
0,8
1
0,5
0,5
0,25
5 × 5 0,5
× 0,5
Высокая произво-
дительность, от-
сутствие износа
фотошаблона
Недостаточное
разрешение,
ограниченное
рабочее поле
Дифракция,
оптическая
интерференция
Растровая
электронно-
литография
0,01 0,1 0,1 0,1
0,5 × 0,5
Отсутствие фо-
тошаблонов, воз-
можность про-
граммирования
Низкая ско-
рость сканиро-
вания, ограни-
ченное рабочее
поле
Диаметр пучка,
рассеяние
электронов в
резисте
П4. Конструкции металлостеклянных корпусов
Тип корпуса 1203 (151.15-1)
1203 (151.15-2) (h
max
= 4 мм, h
1min
= 2,6 мм); 151.15-3 (h
max
= 3,2 мм,
1203 (151.15-4) (h
max
= 5 мм, h
1min
=
3 мм; 151.15-5 (h
max
= 4 мм, h
1min
=
