Устройства интегральной электроники: Акустоэлектроника. Основы теории, расчета и проектирования. Дмитриев В.Ф. - 57 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

3.5.1. Отражательные элементы

Любая отражательная структура состоит из последовательности

отражательных элементов. Основными отражательными элемента'

ми для устройств на ПАВ являются металлические полоски или ка'

навки (рис. 3.4). Металлические полоски толщиной много меньше

длины волны формируются на поверхности пьезоэлектрика (звуко'

провода) методами электронно'лучевого испарения металла в вакуу'

ме и контактной фотолитографии. Канавки формируются путем из'

бирательного ионно'химического травления поверхности звукопро'

вода через металлические маски из напыленного на поверхность тон'

кого слоя металла или маски из тонкого фоторезистивного слоя.

Изменение рельефа или состояния поверхности (наличие канавки

или металлической полоски) вызывает частичное отражение падаю'

щей на неоднородность акустической волны. Кроме того, наличие

неоднородности приводит к частичному преобразованию падающей

волны в другие типы волн, которые могут существовать в материале

звукопровода. Эффективность преобразования в другие типы акус'

тических волн (эффективность рассеяния) определяется видом нео'

днородности. Для минимизации нежелательных эффектов, возни'

кающих при отражении ПАВ и ухудшающих работу устройства, тол'

щину металлической пленки отражателя или глубину канавки вы'

бирают много меньшей длины волны.

Ввиду сложности, громоздкости и, вместе с тем, недостаточной

точности теоретического метода расчета коэффициентов отражения

и рассеяния ПАВ поверхностными неоднородностями в анизотроп'

ных кристаллах, на практике обычно пользуются эмпирическими

Рис. 3.4. Поперечное сечение отражательных структур в виде

металлических полосок (а) или канавок (б) на поверхности кристалла

(звукопровода)

а)

б)