Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов. Ежовский Ю.К - 21 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1.5.3. Зонная перекристаллизация (зонная плавка)

Метод зонной плавки был предложен Пфаном в 1952 г. Это один из

наиболее эффективных и высокопроизводительных методов глубокой

очистки.

По методу зонной плавки расплавляется не весь кристалл, а только

его узкая часть, называемая зоной, которая перемещается вдоль стержня,

последовательно расплавляя и вновь кристаллизуя его (рис. 1.5). Посколь-

ку примесь должна накапливаться в расплавленной зоне и выводиться на

конечную часть кристалла этот метод обычно используется для очистки от

примесей с К <1.

Рис.1.5. Схема метода зонной

плавки (а, б) и кривые распре-

деления примеси (в) по длине

закристаллизовавшейся части

слитка при однократном про-

ходе зоной и различных значе-

ниях К

- 21 -

Рассмотрим зависимость, определяющую распределение примеси вдоль

слитка после одного прохода зоны. Пусть зона перемещается слева напра-

во ( см. рис. 1.5). При этом впереди зоны на фронте плавления расплавля-